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微结构光电器件表面修饰技术路径研究
目录
文档概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
1.1.1微电子技术发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
1.1.2光电器件性能提升需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
1.2.1国外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
1.2.2国内研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
1.3研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
1.5论文结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
微结构光电器件表面特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
2.1光电器件表面形貌表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
2.1.1扫描电子显微镜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
2.1.2原子力显微镜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
2.2光电器件表面化学组成分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
2.2.1X射线光电子能谱．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
2.2.2紫外可见光谱．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
2.3光电器件表面物理性质研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
2.3.1表面润湿性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
2.3.2表面能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
微结构光电器件表面修饰方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
3.1物理气相沉积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
3.1.1蒸发沉积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
3.1.2离子束沉积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
3.2化学气相沉积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．57
3.2.1低温等离子体增强化学气相沉积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58
3.2.2高温化学气相沉积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60
3.3自组装技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62
3.3.1聚合物自组装．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63
3.3.2碳纳米管自组装．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65
3.4溶液化学方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．67
3.4.1溶胶凝胶法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．69
3.4.2化学镀．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．72
3.5其他修饰方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．74
3.5.1接触印刷．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．76
3.5.2模板法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．77
微结构光电器件表面修饰效果评价．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．81
4.
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