真空镀膜技术第13章：薄膜的结构与缺陷.pptx

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2025-11-30 发布于江西
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真空镀膜技术第13章：薄膜的结构与缺陷.pptx

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薄膜的结构与缺陷;薄膜结构决定性能;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;入射电子;各种信息的作用深度;扫描电子显微镜（ScanningElectronMicroscope（SEM））分析;扫描电镜成像示意图;形貌衬度原理;;XPS的仪器;XPS的仪器;1电磁波使内层电子激发，并逸出表面成为光电子，测量被激发的电子能量就得到XPS，不同元素种类、不同元素价态、不同电子层(1s,2s,2p等)所产生的XPS不同。;3元素不同，其特征的电子键能不同。测量电子动能KE，就得到对应每种元素的一系列BE-光电子能谱，就得到电子键能数据。;XPS（X射