原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
《热加工工艺》2018年9月第47卷第18期
硼掺杂锌锡氧化物靶材的制备、组织及性能研究
刘永．郗雨林
(中国船舶重工集团公司第725研究所，河南洛阳471023)
摘要：采用纳米B203、ZnO和SnO2粉末原料和氧压烧结法，在1200~1250℃烧结制备出不同硼掺杂量的锌锡
氧化物(ZTO)陶瓷靶材(BZTO)。借助SEM、XRD，研究了掺杂量、烧结温度等对BZTO靶材微观组织及性能的影响。
结果表明，B203在BZTO中的存在状态与加热／烧结温度紧密相关。600cad热后，B20，主要固溶于SnO2和ZnO晶格
中；1000℃和1250℃烧结后，B203与ZnO反应生成zn5B40。，中间相，也会部分固溶于基体相中。在1250℃烧结时，
3．0wt％B20掺杂的BZTO靶材晶粒细小，组织致密，相对密度也最高。
关键词：BZTO；制备；显微组织；性能
DOI：10．14158／j．cnki．1001-3814．2018．18．026
中图分类号：TG148文献标识码：A文章编号：1001．3814(2018)18-0105．04
StudyonFabrication，MicrostructureandPropertiesofBZTOTarge~
LIUYong．XIYulin
(LuoyangShipMaterialResearchInstitute，Luoyang471023，China)
Abstract：BZTOtargetsdopedwith~fferentcontentofboronwerefabricatedbynano-B203，ZnOandSnO2powdersand
oxygenpressuresniteringmehtodat1200-1250℃．Theeffectsofdopnigamountnadsniteringtemperatureonhte
microstructurenadpropertiesofBZTOtargetsweresutdiedbySEMandXRD．Theresultsshowhtathteexistencestateof
B2O3niBZTOiscloselyrelatedtoheating／sniteringtemperature．Afterheatingat600℃，B203ismani~solubleniSnO2nad
ZnOlattices；aftersinteringat1000℃and1250℃，B203reactswithZnOotformZnsB40I1mesophase，anditisalsopartially
solubleinmatrixphase．TheBZTOtargetdopedwiht3．0Wt％B203hasfinegrani，compactstructurenadhighestrelative
densitywhensniteredat1250℃．
Keywords：BZTO；fabrication；micmstructure；properties
透明导电氧化物(TCO)薄膜是目前商用最广泛导致其电学性能不稳定1【]。研究表明，三元氧化物在
的光电薄膜材料，其禁带宽度大于3eV，在可见光范某些领域具有比二元更优的性能，且三元氧化物还
围内具有较高的透射率(80％)，主要应用于光伏电具有可利用组分变化来更好调节薄膜性能的优点。
池、平面显示器和发光二极管(LED)等。目前，工业随着人们对新材料的不断探索，兼具ZnO与SnO
化应用最成熟的透明导电薄膜主要是铟基氧化物薄双重优点的Zn．Sn．O(ZTO)薄膜受到广泛关注和研
膜，如ITO、IGzO等
文档评论（0）