化学气相沉积法制备Cr_2O_3涂层及其性能研究.pdfVIP

HotWorkingTechnology2015，Vo1．44,No．4

化学气相沉积法制备Cr203涂层及其性能研究

谢涛，王杰，段可，汪建新。翁杰

(西南交通大学材料科学与工程学院，四川成都610031)

摘要：采用化学气相沉积法在铝合金表面制备Cr20陶瓷涂层，通过SEM、XRD、电化学极化曲线对涂层的形貌、

成分、耐腐蚀性能进行了研究。结果表明，CrO，在260℃时转化成了中间产物CrsO：，以气态化合物的形式沉积于铝合

金表面。经520℃热处理后可制得Cr20，涂层。化学气相沉积法有效地提高了铝合金的硬度和耐腐蚀性。

关键词：铝合金；化学气相沉积；Cr20涂层；耐腐蚀性

DOI：10．141580．cnki．1001-3814．2015．04．050

中图分类号：TG174文献标识码：A文章编号：1001—3814(2015)04．0178．03

StudyonPreparationandPropertiesofCr203CeramicCoatingby

ChemicalVaporDeposition

XIETao，WANGJie，DUANKe，WANGJianxin，WENGJie

(SchoolofMaterialScienceandEngineering，SouthwestJiaotongUniversity,Chengdu610031，China)

Abstract：Cr203ceramiccoatingwaspreparedonaluminumalloybychemicalvapordeposition(CVD)．Thesurface

morphology，phase，hardness，andcorrosionresistanceofcoatingwerestudiedbySEM，XRD，Vickershardl1esstests，nad

electrochemicalpolarization．Theresultsshowthat，afterheattreatmentat260℃，CrO3decomposesintoanintermediate

compound(CrsO21)，whichwasvaporizedanddepositedonaluminumalloysurface，forminganintermediatecoating．After

subsequenttreamtentat520℃，theintemrediatecoatingrtansformestoCr203coating．TheCVDprocesseffectivelyincreases

thesurfaceharndessnadcorrosionresistanceofalmuinumalloy．

Keywords：almuinumalloy；chemicalvapordeposition；Cr203coating；corrosionresistance

Cr20涂层具有优异的耐腐蚀性、耐磨性及耐高件，处理温度相对上述方法要低[9]。目前常用的制备

温性f1]。目前常用的氧化物陶瓷涂层制备工艺有等Cr20陶瓷涂层的CVD前驱体为乙酰丙酮化铬，但

离子喷涂技术、溅射技术、溶胶凝胶法、CVD和电化在低温时乙酰丙酮易发生聚合，高温热处理分解出

学沉积等2[]。等离子喷涂技术广泛应用于Cr20涂层的C会污染涂层，影响其在涂层形成过程中的催化

的制备，但需要昂贵的设备，在涂层与基体界面处易作用[1o-i1]。本文介绍用一种简单易得的前驱体进行

产生内应力，不适用于喷涂复杂形状的工件。溅CVD制备Cr20，涂层的方法，并对涂层的结构