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表面等离子体共振天线赋能CMOS太赫兹探测器的创新研究

一、引言

1.1研究背景与意义

太赫兹波通常是指频率在0.1-10THz（波长为30μm-3mm）范围内的电磁波，其位于微波与红外光之间的特殊频段，兼具两者的部分特性，在众多领域展现出了巨大的应用潜力。在通信领域，太赫兹波具有高带宽的特性，能够实现高速率的数据传输，为未来6G甚至更高速的无线通信提供了新的可能性。例如，在短距离高速通信场景中，太赫兹通信有望满足大数据量快速传输的需求，实现设备间的超高速互联。在生物医学领域，太赫兹波对生物组织具有一定的穿透性，且其光子能量低，不会对生物组织造成电离损伤，可用于生物分子的指纹识别、疾病的早期诊断与无损检测等。研究表明，太赫兹波能够检测到肿瘤组织与正常组织在分子水平上的差异，为癌症的早期筛查提供了新的手段。在安检安防领域，太赫兹波可以穿透衣物、塑料等非极性材料，同时对金属等物质有较好的反射特性，能有效地检测出隐藏在人体、包裹中的危险物品，如武器、爆炸物等，相比传统的安检手段，太赫兹安检具有更高的准确性和安全性，且对人体的辐射影响极小。在材料科学中，太赫兹波可以用于材料的表征和分析，通过测量太赫兹波在材料中的传播和反射特性，可以获取材料的电学、光学、力学等性质，为材料的研发和质量检测提供重要的依据。

太赫兹探测器作为太赫兹技术应用的关键部件，其性能的优劣直接影响到整个系统的性能。互补金属氧化物半导体（CMOS）技术由于具有成本低、集成度高、功耗低等优点，在太赫兹探测器的发展中备受关注。基于CMOS工艺的太赫兹探测器能够实现大规模集成，降低系统成本，有望推动太赫兹技术在消费电子等领域的广泛应用。然而，目前CMOS太赫兹探测器仍面临一些挑战，如探测灵敏度较低、响应速度不够快、噪声等效功率较高等，这些问题限制了其在一些对性能要求较高的场景中的应用。

表面等离子体共振（SPR）天线是一种能够增强光与物质相互作用的结构，它利用金属表面自由电子与光子相互作用产生的表面等离子体激元，实现对太赫兹波的高效捕获和耦合。将SPR天线与CMOS太赫兹探测器相结合，能够显著提升探测器的性能。SPR天线可以增强太赫兹波与探测器敏感元件之间的耦合效率，从而提高探测器的响应度；通过对SPR天线结构的优化设计，还可以实现对特定频率太赫兹波的选择性探测，提高探测器的频率分辨率。此外，SPR天线的引入有助于减小探测器的尺寸，进一步提高其集成度，满足现代电子系统对小型化、轻量化的需求。因此，研究基于表面等离子体共振天线的CMOS太赫兹探测器，对于突破CMOS太赫兹探测器的性能瓶颈，推动太赫兹技术的广泛应用具有重要的理论意义和实际应用价值。

1.2国内外研究现状

在表面等离子体共振天线的研究方面，国内外学者取得了丰硕的成果。国外如美国、欧盟等国家和地区的科研团队在SPR天线的基础理论和新型结构设计方面处于领先地位。美国加州理工学院的研究人员通过对金属纳米结构的精确设计，实现了对太赫兹波的高效聚焦和增强，其设计的SPR天线在特定频段内的场增强因子达到了数十倍。欧盟的一些研究机构则致力于开发新型的SPR天线材料，如石墨烯等二维材料与金属复合的结构，以拓展SPR天线的应用范围和性能。国内的科研团队也在SPR天线领域取得了重要进展，清华大学、北京大学等高校的研究人员通过理论分析和数值模拟，深入研究了SPR天线的工作原理和性能优化方法，并在实验中制备出了高性能的SPR天线。例如，清华大学的团队设计了一种基于超材料的SPR天线，该天线在太赫兹频段具有独特的电磁响应特性，能够实现对太赫兹波的多频段调控。

在CMOS太赫兹探测器的研究方面，国外的研究起步较早，技术相对成熟。美国、日本等国家的研究机构在CMOS太赫兹探测器的设计、制备和应用方面开展了大量的工作。美国麻省理工学院研发出了基于CMOS工艺的高灵敏度太赫兹探测器，该探测器在0.3-1THz频段内具有较低的噪声等效功率和较高的响应度。日本的一些研究团队则专注于提高CMOS太赫兹探测器的集成度和阵列化水平，实现了大规模的太赫兹成像阵列。国内近年来也加大了对CMOS太赫兹探测器的研究投入，中国科学院、北京理工大学、东南大学等科研机构和高校在CMOS太赫兹探测器的研究上取得了显著成果。中国科学院半导体研究所研制出了基于CMOS工艺的太赫兹探测器阵列，该阵列在成像分辨率和灵敏度方面有了较大提升。

将表面等离子体共振天线与CMOS太赫兹探测器相结合的研究是近年来的一个热点方向。国外一些团队已经开展了相关的研究工作，如德国的研究人员将SPR天线集成到CMOS太赫兹探测器上，通