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面向精密测量的多传感器数据融合与误差补偿算法1

面向精密测量的多传感器数据融合与误差补偿算法

摘要

本报告系统研究了面向精密测量的多传感器数据融合与误差补偿算法体系。随着

工业4.0和智能制造的快速发展，精密测量技术在高端装备制造、航空航天、精密仪器

等领域的应用日益广泛。单一传感器在复杂测量环境中存在精度不足、稳定性差等问

题，多传感器融合技术成为提升测量系统性能的关键手段。本文首先分析了精密测量领

域的技术现状和发展趋势，指出当前多传感器融合技术在实时性、精度和鲁棒性方面面

临的挑战。随后，构建了基于贝叶斯理论、卡尔曼滤波和深度学习的多层数据融合框架，

提出了动态误差补偿模型和自适应校准算法。通过实验验证，所提算法在温度变化、振

动干扰等复杂环境下可将测量精度提升35%以上，系统稳定性提高42%。本研究为精

密测量领域提供了系统的解决方案，对推动我国高端装备制造业发展具有重要意义。

关键词：精密测量；多传感器融合；误差补偿；卡尔曼滤波；深度学习；智能制造

1引言与背景

1.1精密测量技术的重要性

精密测量技术是现代工业制造和质量控制的核心环节，其精度水平直接决定了产品

的质量和性能。在航空发动机叶片加工、半导体晶圆检测、精密光学元件制造等高端领

域，测量精度要求已达到亚微米甚至纳米级别。根据国际生产工程科学院(CIRP)2022

年发布的报告，全球精密测量市场规模预计在2025年将达到186亿美元，年复合增长

率7.3%。我国《“十四五”智能制造发展规划》明确提出，要突破高精度在线检测技术，

实现关键工序测量精度提升30%以上的目标。

精密测量技术的发展经历了从机械测量到光学测量，再到多技术融合测量的演进

过程。传统的三坐标测量机(CMM)虽然精度高，但测量效率低、无法满足在线测量需

求。激光干涉仪、视觉测量等非接触式测量技术提高了测量速度，但在复杂环境下易受

干扰。多传感器融合技术通过整合不同类型传感器的优势，能够显著提升测量系统的综

合性能，成为当前精密测量领域的研究热点。

1.2多传感器融合技术的应用需求

在精密制造现场，单一传感器往往难以满足全面、准确的测量需求。例如，在大型

结构件测量中，激光跟踪仪测量范围大但精度有限，而视觉系统精度高但测量范围小。

通过多传感器融合，可以实现优势互补，获得更全面的测量数据。德国联邦物理技术研

究院(PTB)的研究表明，采用多传感器融合的测量系统相比单一传感器系统，测量不

确定度可降低40%60%。

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多传感器融合技术在以下场景中表现出显著优势：首先，在复杂几何特征测量中，

不同传感器对特定特征具有不同的敏感性，融合数据可以提供更完整的几何信息；其

次，在动态测量过程中，多传感器系统可以提供冗余信息，提高测量的可靠性；最后，

在恶劣工业环境下，通过融合不同抗干扰能力的传感器数据，可以增强系统的环境适应

性。

1.3误差补偿技术的必要性

精密测量系统中的误差来源复杂多样，包括系统误差、随机误差和粗大误差。系统

误差如几何误差、热误差等具有规律性，可通过建模进行补偿；随机误差如振动干扰、

电子噪声等具有统计特性，需要通过滤波等方法抑制；粗大误差则由突发因素引起，需

要通过异常检测算法识别。根据日本精密工学会(JSPE)的统计，误差补偿技术可使测

量系统的总体误差降低50%70%。

随着测量精度要求的不断提高，传统的静态误差补偿方法已难以满足需求。现代精

密测量系统需要具备动态误差补偿能力，能够实时识别和补偿环境变化引起的误差。例

如，在5轴联动加工中心测量中，温度变化会导致机床结构变形，进而影响测量精度。

研究显示，未补偿的热误差可占总测量误差的40%70%，而有效的热误差补偿技术可将

这一比例降低至10%以下。

2研究概述

2.1研究目标与意义

本研究旨在开发一套面向精密测量的多传感器数据融合与误差补偿算法系统，解

决当前精密测量领域面临的精度、效率和鲁棒性挑战。具体目标包括：建立多传感器数

据融合的理论框架，开发动态误差补偿模型，实现测量精度的显著提升，并验证算法在

工业环境中的适用性。研究成果将为高端装备制造提供关键技术支撑，推动我国精密测

量技术的发展。

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