第7章刻蚀工艺.ppt

回顾1、真空的分类？2、真空区域的划分？3、真空泵的分类？4、哪些工艺或器件需要真空？

真空度的单位自然真空：宇宙空间所存在的真空；人为真空：用真空泵抽调容器中的气体所获得的真空。几种压强单位的换算关系

真空区域的划分粗真空：1×105～1×102Pa。低真空：1×102～1×10－1Pa。高真空：1×10－1～1×10－6Pa。超高真空：1×10－6Pa。

真空的获得几种常用真空泵的工作压强范围

真空的测量真空测量绝对真空计相对真空计U型压力计压缩式真空计放电真空计热传导真空计电离真空计

刻蚀工艺

刻蚀工艺■?概述■?湿法刻蚀■?干法刻蚀■?