半导体式传感器.PPTVIP

由金属氧化物通过堆积、黏结或直接在氧化金属基片上形成感湿膜，称为涂覆膜型湿敏器件。其中比较典型且性能较好的是Fe3O4湿敏器件。 Fe3O4湿敏器件由基片、电极和感湿膜组成，采用滑石瓷作为基片材料，该材料吸水率低，机械强度高，化学物理性能稳定。在基片上用丝网印刷工艺印制成梳状金电极，将纯净的胶粒用水调制成适当黏度的浆料，然后涂在梳状金电极的表面，涂覆的厚度要适当，一般在20～30um左右，然后进行热处理和老化，引出电极后即可使用。2)涂覆膜型Fe3O4湿敏器件 由于Fe3O4感湿膜是松散的微粒集合体，缺少足够的机械强度，微粒之间依靠分子力和磁力的作用，粒子间的空隙使薄膜具有多孔性，微粒之间的接触呈凹状，微粒间的接触电阻很大，所以Fe3O4感湿膜的整体电阻很高。当空气的相对湿度增大时，Fe3O4感湿膜吸湿，由于水分的附着扩大了颗粒间的接触面，降低了粒间的电阻和增加更多的导流通路，所以元件阻值减小；当处于干燥环境中，Fe3O4感湿膜脱湿，粒间接触面减小，元件阻值增大。因而这种器件具有负感湿特性，电阻值随着相对湿度的增加而下降，反应灵敏。这里需要指出的是，烧结型的Fe3O4湿敏器件，其电阻值随湿度增加而增大，具有正特性。Fe3O4湿敏器件是一种体效应器件，当环境湿度发生变化时，水分子要在数十微米厚的感湿膜体内充分扩散，才能与环境湿度达到新的平衡。这一扩散和平衡过程需时较长，使器件响应缓慢，并且由于吸湿和脱湿过程中响应速度有差别，器件具有较明显的湿滞效应，高湿时的滞后效应比低湿时大。Fe3O4湿敏器件可以利用单片器件进行宽量程测量，重复性、一致性较好，在高温环境中也较稳定，有较强的抗结露能力，而且工艺简单，价格便宜，在受少量醇、酮、酯等气体污染及尘埃较多的环境中也能使用。9.2.3湿敏传感器的应用1.自动气象站湿度测报 湿度传感器广泛用于自动气象站的遥测装置上，采用耗电量很小的湿度传感器可以由蓄电瓶供电长期自动工作，几乎不需要维护。用于无线电遥测自动气象站的湿度测报原理方框图如图所示。 氯化锂湿度传感器将被测湿度转换为电阻值，R—f转换电路将此电阻值R转换为相应的频率f，再经自校准器控制使频率f与相对湿度一一对应，最后经门电路记录在自动记录仪上。如果需要远距离数据传输，则还需要将得到的数字量编码，调制到无线电载波上发射出去。2.湿度控制电路湿度控制电路3.汽车后窗玻璃自动去湿装置汽车后窗玻璃自动去湿装置9.3半导体磁敏传感器 磁敏传感器是把磁学物理量转换成电信号的传感器，它广泛地应用于自动控制、信息传递、电磁测量、生物医学等各个领域。磁敏式传感器按其结构可分为体型和结型两大类，前者有霍尔传感器(其材料主要有InSb，InAs，Ge，Si，GaAs等)和磁敏电阻(InSb，InAs)，后者有磁敏二极管(Ge，Si)、磁敏晶体管(Si等)，它们都是利用半导体材料中的自由电子或空穴随磁场改变其运动方向这一特性而制成的一种磁敏传感器。9.3.1磁敏电阻器 当长方形半导体片受到与电流方向垂直的磁场作用时，不但产生霍尔效应，而且还会出现电流密度下降、电阻率增大的现象。若适当地选几何尺寸，还会出现电阻值增大的现象。前一种现象称为物理磁阻效应，后一种现象称为几何磁阻效应。半导体磁阻器件就是综合利用这样两种效应而制成的磁敏器件。 磁阻效应是指将一载流导体置于外磁场中，其电阻率会发生变化(增大)，它是伴随霍尔效应同时发生的一种物理效应。 当温度恒定时，在弱磁场范围内，磁阻与磁感应强度B的平方成正比。如果器件只有在电子参与导电的简单情况下，理论推导出来的磁阻效应方程为1.磁阻效应当电阻率变化为时，则电阻率的相对变化率为半导体中仅存在一种载流子时，磁阻效应很弱。若同时存在两种载流子，则磁阻效应很强，此时≈ 磁敏电阻元件是仅有一对电流电极的两端子结构。 2.磁敏电阻的结构常见磁敏电阻结构 磁阻效应除了与材料有关外，还与磁敏电阻的形状有关。若考虑到形状的影响，电阻率的相对变化与磁感应强度和迁移率的关系可表示为≈式中L、b分别为电阻的长和宽；表示形状效应系数。(a)柯比诺效应(b)几何形状与磁阻变化特性 在恒定磁感应强度下，其长宽比越小，则越大。各种形状的磁敏电阻，其磁阻与半导体材料几何形状的关系如图(b)所示。由图可见，圆盘形结构的磁阻效应远远大于矩形结构，所以半导体磁敏电阻大多制成圆盘结构。 由于磁阻元件具有