T∕CSTM 00166.3-2020 石墨烯材料表征 第3部分 透射电子显微镜法.docxVIP

ICS59.100.20

Q50

团

体

CSTM

标准

T/CSTM00166.3—2020

石墨烯材料表征

第3部分：透射电子显微镜法

Characterizationforgraphenematerials—

Part3:Transmissionelectronmicroscope

2020-03-23发布2020-06-23实施

中关村材料试验技术联盟发布

I

T/CSTM00166.3—2020

目次

前言 Ⅲ

引言 V

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4原理 1

5仪器设备 1

6样品制备 2

7测试及计算过程 2

8不确定度评定 3

9报告 4

附录A(资料性附录)石墨烯材料的透射电镜样品制备 5

附录B(资料性附录)石墨烯材料形貌、层数和层间距测量示例 7

附录C(资料性附录)测试报告格式 9

附录D(资料性附录)本标准起草单位和主要起草人 10

T/CSTM00166.3—2020

Ⅲ

前言

T/CSTM00166《石墨烯材料表征》分为3个部分：

——第1部分：拉曼光谱法；

——第2部分：X射线衍射法；

——第3部分：透射电子显微镜法。

本部分是T/CSTM00166的第3部分。

本标准参照GB/T1.1—2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》给出的规则起草。请注意本文件的某些内容有可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本标准由中国材料与试验团体标准委员会基础与共性技术领域委员会(CSTM/FCO0)提出。

本标准由中国材料与试验团体标准委员会基础与共性技术领域委员会(CSTM/FCO0)归口。

T/CSTM00166.3—2020

V

引

言

石墨烯具有高导电性、高韧性、高强度、超大比表面积等特点，在微电子、新能源、生物医学、航空航天等领域具有广阔的应用前景。透射电子显微镜(简称“透射电镜”)方法是材料研究的最重要方法之一，主要用于测试材料的微观形貌、晶体结构和元素组成等。透射电镜可对石墨烯材料的形貌、层数和层间距等进行测试评价。

本部分涉及的透射电镜法为石墨烯材料综合表征方法之一。不同方法制备的石墨烯材料在结晶程度、价键结构和微观结构上存在差异，实际应用中需根据样品特点综合多种方法分析。本部分涉及的标准方法与本系列的其他标准一起使用，为石墨烯材料的生产和研究提供技术指导。

T/CSTM00166.3—2020

1

石墨烯材料表征

第3部分：透射电子显微镜法

1范围

本部分规定了透射电子显微镜法表征石墨烯材料的术语和定义、原理、仪器设备、样品制备、测试及计算过程、不确定度评定及测试报告。

本部分适用于石墨烯材料微观形貌、层数和层间距测量。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T18907微束分析分析电子显微术透射电镜选区电子衍射分析方法

GB/T19619纳米材料术语

GB/T30544.13纳米科技术语第13部分：石墨烯及相关二维材料

GB/T34002微束分析透射电子显微术用周期结构标准物质校准图像放大倍率的方法

T/CSTM00162透射电子显微镜校准方法

ISO导则35标准物质/标准样品定值的一般原则和统计方法(Referencematerials-Generalandstatisticalprinciplesforcertification)

3术语和定义

GB/T18907、GB/T19619、GB/T30544.13、GB/T34002和ISO导则35中界定的术语和定义适用于本文件。

4原理

使用透射电镜的明场像和高分辨晶格像两种成像模式。晶体薄样品明暗场像的衬度(即不同区域的亮暗差别),是由于样品相应的不同部位结构或取向的差别导致衍射强度的差异而形成的，称为衍射衬度，以衍射衬度机制为主而形成的图像称为衍衬像，如果只允许透射束通过物镜光阑成像，称为明场像。当透射束和至少一束衍射束同时通过物