基于激光散斑图像共生纹理特征的表面粗糙度测量：理论、方法与实践.docxVIP

基于激光散斑图像共生纹理特征的表面粗糙度测量：理论、方法与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业生产中，表面粗糙度作为表征物体表面微观几何特征的关键指标，对产品的性能、质量和使用寿命有着至关重要的影响。从机械制造领域的零部件，到航空航天中的精密元件，从汽车工业的发动机部件，到电子设备的微小芯片，表面粗糙度都在其中扮演着不可或缺的角色。例如，在机械传动系统中，零部件表面的粗糙度会直接影响其耐磨性和摩擦系数，进而影响整个系统的效率和稳定性；在航空发动机的叶片制造中，表面粗糙度的微小差异可能导致气流通过时的阻力变化，从而影响发动机的推力和燃油效率；在电子芯片的制造过程中，表面粗糙度的控制对于芯片的性能和可靠性更是起着决定性作用。

传统的表面粗糙度测量方法主要包括接触式和非接触式两类。接触式测量方法如触针式测量，虽然能在一定程度上再现工件表面状况，但存在损伤被测表面、测量速度慢以及受探针针头直径限制难以测量纳米量级超精加工面等缺点，无法满足现代工业日益增长的高精度、高效率检测需求。非接触式测量方法则基于光学、声学、电子学等原理，通过测量散射、反射、回弹等特性来推断表面粗糙度，具有非破坏性、快速性和高精度的优点，因此逐渐受到广泛关注。

基于激光散斑图像的表面粗糙度测量方法是近年来非接触式测量领域的研究热点之一。当具有高度相干性的激光照射到粗糙表面时，会产生随机分布的散斑图样，这些散斑图样包含了丰富的表面微观信息。通过将激光散斑图像转换为灰度图像，并运用图像处理和分析技术提取其中的纹理特征，就可以推断出表面的粗糙度。然而，目前基于激光散斑图像的表面粗糙度测量研究大多基于经验式或统计学方法，对于不同材料或表面特征的适用性和精度存在一定局限性。开展基于激光散斑图像共生纹理特征的表面粗糙度测量研究，对于进一步提高测量精度、拓展适用范围以及增强测量稳定性具有重要意义，有望为非接触式表面粗糙度测量技术的发展提供新的思路和方法，推动工业检测技术的进步，满足现代工业对高精度、高效率表面质量检测的迫切需求。

1.2国内外研究现状

国外在基于激光散斑测量表面粗糙度的研究起步较早，取得了一系列具有代表性的成果。例如，D.K.Pratihar等人在《Roughnessevaluationofopticalsurfaceswiththeaidofpowerspectraldensityfunctionofspecklepattern》中，借助散斑图样的功率谱密度函数对光学表面粗糙度进行评估，为表面粗糙度测量提供了一种基于频谱分析的新思路。RitchieA.D.、KowalczykR.S.等人在《Surfacetexturingbyspecklepattern》中研究了散斑图案对表面纹理的影响，从表面纹理形成机制的角度为表面粗糙度测量的研究提供了参考。

国内相关研究近年来也呈现出蓬勃发展的态势。哈尔滨检定计量测试所的张蕴东、浦军提出并采用差动像散法的光探针技术测量表面粗糙度，为光学测量表面粗糙度提供了一种新的技术手段。于昊等应用Beckmann光散射理论得到同步测定表面粗糙度的振幅信息和频率信息的方法，从光散射理论的角度丰富了表面粗糙度测量的理论基础。宁维莲、甘永进等人设计了激光散斑采集系统，通过分析散斑图灰度共生矩阵的二阶矩、熵、对比度和相关值四个参数随粗糙度大小变化的趋势，为定量测量粗糙度奠定了一定基础。陈苏婷、胡海锋等人应用Tamura纹理特征理论提取激光散斑图像的纹理粗糙度、对比度、方向度特征，并分析了这三个特征与表面粗糙度的关系，推导出平磨、外磨、研磨三种表面加工工艺的粗糙度值与图像纹理粗糙度特征的数学函数关系，实现了表面粗糙度的测量。

尽管国内外在该领域取得了一定成果，但现有研究仍存在一些不足之处。一方面，现有的测量方法大多依赖于特定的实验条件或假设，对于复杂多变的实际工业场景适应性较差。例如，在面对不同材料、不同加工工艺产生的表面粗糙度时，测量精度和可靠性往往难以保证。另一方面，现有的分析方法在提取激光散斑图像的纹理特征时，可能无法充分挖掘图像中蕴含的所有表面粗糙度信息，导致测量结果存在一定误差。此外，目前的研究在测量模型的通用性和测量系统的智能化程度方面还有待进一步提高。

1.3研究目的与创新点

本研究旨在深入探索激光散斑图像共生纹理特征与表面粗糙度之间的内在关联，通过构建科学合理的测量模型和分析方法，实现对表面粗糙度的高精度、高可靠性测量。具体而言，本研究的主要目的包括：一是系统地研究激光散斑图像共生纹理特征的提取方法，深入分析这些特征与表面粗糙度之间的定量关系；二是基于所提取的共生纹理特征，建立适用于多种材料和表面特征的表面粗糙度测量模型，并对模型的精度和可靠性进行验证和优化