JJF(机械) 1066-2021 超声显微镜性能校准规范.docxVIP

中华人民共和国工业和信息化部机械计量技术规范

JJF(机械)1066—2021

超声显微镜性能校准规范

StandardSpecificationforCalibrationofScanningAcousticMicroscope

2021-12-02发布2022-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

JJF(机械)1066—2021

超声显微镜性能

校准规范JJF(机械)1066—2021

StandardSpecificationforCalibration

ofScanningAcousticMicroscope

归口单位：中国机械工业联合会

起草单位：北京理工大学

本规范委托全国机械工业计量技术委员会负责解释

JJF(机械)1066—2021

本规范起草人：

徐春广(北京理工大学)贺蕾(北京理工大学)

周世圆(北京理工大学)肖定国(北京理工大学)郝娟(北京理工大学)马朋志(北京理工大学)

JJF(机械)1066—2021

目录

引言 (IⅡ)

1范围 (1)

2引用文件 (1)

3概述 (1)

4计量特性 (2)

4.1外观 (2)

4.2性能 (2)

4.3测量精度 (2)

5校准条件 (2)

5.1环境条件 (2)

5.2校准用器具 (2)

6校准项目和校准方法 (3)

6.1校准项目 (3)

6.2校准方法 (3)

7校准结果表达 (3)

8复校时间间隔 (3)

附录A校准报告 (4)

附录B不确定度评定报告 (5)

附录C标准校准试块 (7)

I

JJF(机械)1066—2021

II

引言

本规范依据JJF1071—2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》和JJF1094—2002《测量仪器特性评定》,并参考GB/T23912—2009《无损检测液浸式超声纵波脉冲反射检测方法》、GB/T34018—2017《无损检测超声显微检测方法》的部分内容编制。

本规范为首次发布。

JJF(机械)1066—2021

1

超声显微镜性能校准规范

1范围

本规范适用于超声显微镜的首次校准、后续校准以及使用中的校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件：

JJF1001通用计量术语及定义

JJF1059.1测量不确定度评定与表示

JJF1071国家计量校准规范编写规则

JJF1094测量仪器特性评定

GB/T12604.1无损检测术语超声检测

GB/T23912无损检测液浸式超声纵波脉冲反射检测方法

GB/T34018—2017无损检测超声显微检测方法

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。

3概述

超声显微检测方法(详见GB/T34018—2017)作为一种微结构显示方法，是解决构件内部微小尺寸测量问题及材料或构件内部微缺陷检测问题的先进测量方法之一。超声显微镜利用聚焦高频超声波的高分辨能力，可以实现对构件内部微细结构以及材料或构件内部微缺陷的无损测量。

超声显微镜采用脉冲反射原理进行检测，使用同一个聚焦换能器作发射器和接收器，采集某一特定深度Z扫查平面内的超声数据并进行C扫描显示。如图1所示，C扫查过程中，在结构形状突变处，扫查声信号的幅值也会发生突变，在扫查图像上表现为颜色或灰度的突变，通过对成像数据处理，找到对应结构形状特征界面的数据突变点，根据这些数据点对应的扫查位置，即可测出结构形状的尺寸。

峰值

峰值超声换能器

A?

11,

O

1/内部微结构

d?

A?

d

x

图1超声显微尺寸测量示意图

JJF(机械)1066—2021

2

如图1所示，成像数据中的A、A?突变对应结构界面M?、M?,设A、A?对应扫查位置为X?、X?,则被测结构界面M?、M?间的距离L为：

L