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基于洛伦兹力的MEMS大位移驱动器：原理、设计与多元应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的进程中，微机电系统（MEMS）作为多学科交叉融合的前沿领域，正深刻地改变着人们的生活与生产方式。MEMS技术将微电子技术与微机械技术相结合，能够在微小的芯片上集成各种微传感器、微执行器以及微处理器等，实现对多种物理量的精确感知、控制与处理，其在航空航天、生物医学、汽车电子、通信以及消费电子等众多领域展现出了巨大的应用潜力。

MEMS大位移驱动器作为MEMS系统中的关键执行部件，负责将输入的电信号或其他能量形式转换为机械位移输出，在众多应用场景中起着不可或缺的作用。例如，