脉冲叠加直流偏压电弧离子镀制备Ti_TiN涂层的抗氧化性研究.pdfVIP

HotWorkingTechnology2016，Vo1．45，No．14

脉冲叠加直流偏压电弧离子镀制备

TiN涂层的抗氧化性研究

陈甥怡。罗德福

(江苏大学材料科学与工程学院江苏镇江212000)

摘要：通过脉冲叠加直流偏压电弧离子镀设备制备TiffiN涂层，并进行了氧化试验。利用XRD、SEM、XPS对氧

化后的涂层进行分析。结果表明，450℃以上，TiT／iN涂层的力学性能急剧下降，在500℃时开始有大量TiO：生成，完

全氧化后的Ti0区域以白亮层形式存在。

关键词：脉冲偏压；TffiiN；氧化试验；力学性能

DOI：10．14158／j．cnki．1001-3814．2016．14．041

中图分类号：TB43；TG147文献标识码：A文章编号：1001．3814(2016)14．0144．04

InvestigationonOxidationResistanceofTi／TiNCoatingsPreparedbyPulse

SuperpositionDCBiasArcIonPlating

CHENShengyi．LU0Defu

(SchoolofMaterialScienceandEngineering，JiangsuUniversity，Zhenjiang212000，China)

Abstract：Ti／TiNcoatingsweredepositedbypulsesuperpositionDCbiasarcionplatnigequipment．Theoxidation

experimentwascarriedout．ThecoatnigsaroxidationwerenaalyzedbyXRD．SEMnadXPS．Theresultsshowthathte

mechanicalpropertiesofTi／TiNcoatingdecreasesharplyabove450℃，nadalargenumberofTiO2phasesappearat500℃，

nadthenthezoneofTiO2aftercompleteoxidationexistsinhteformofwhitelayer．

Keywords：pulsebias；TffTiN；oxidationtest；mechanicalproperties

TiN涂层本身具有良好的力学性能．但已无法程序为。检查设备安全性一开电源、机械泵扩散泵

满足现代加工需求。TiN是在TiN制备的基础上加热(正常工作后)60min~开预抽阀对真空室粗抽

添加Ti层来提高涂层的整体力学性能[1-4]。有研究显至4～5Pa一开前级、高阀对真空室抽至5．5x10。Pa

示，利用脉冲激光沉积技术制备Ti／TiN涂层，达到一加热器加热90min-~Ar离子清洗刻蚀工件表面

纳米级别，涂层的摩擦力明显得到提高[51。利用磁过(脉冲偏压一500v)5min一靶电流调至80A，偏压分

滤阴极弧制备Ti／TiN涂层，不同的调制比对涂层的别调至一150V、脉冲偏压调至．400V、占空比调至

结合力也有影响。利用非平衡磁控溅射在人工心脏60％、频率调至50kHz-~单独沉积单质钛2min作为

瓣环表面制备Ti／TiN多层薄膜，其体现了高硬度和基体过渡层一通N气和气，真空室的气氛压力

优异的耐磨性[6]。抗氧化性也是涂层性能最重要的保持到1．2x10～Pa，N2分压0．5x10～Pa，沉积TiN1．5

指标之一。本研究将利用国产脉冲叠加直流偏压离mi