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作用耦合扩散RV3理论与应用研究.pdf

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    扩散（DIFFUSION）是指由于随机分子（类似于热传导）[1]，物

    质在一个系统的某一部分被传输到另一部分的过程。扩散的例子包括但不

    限于：气味和烟雾的扩散（在气体中）、有色在水中的溶解（在液体

    中）、合金的形成、固态反应、冷加工金属中新晶粒的形成、通过渗碳改

    善表面磨损、气体净化、以及用于的硅片的杂质掺杂[2]。

    各向同性物质中的扩散数学理论假设，通过截面单位面积的扩散物质传递

    速率与在截面法线方向测得的浓度梯度成正比。

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