原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
ICS23.010
CCSJ78
/CMEEEA
团体标准
T/CMEEEAXXXX—2025
半导体用智能真空泵颗粒物控制技术要求
Technicalrequirementsforparticlecontrolofintelligentvacuumpumpsusedin
semiconductors
（征求意见稿）
在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。
2025-XX-XX发布2025-XX-XX实施
中国机电设备工程协会 发布
T/CMEEEAXXXX—2025
目次
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4技术要求1
4.1颗粒物限值1
4.2材料1
4.3结构设计1
4.4智能控制模块设计2
4.5加工精度2
4.6清洗工艺2
4.7过程检验2
5试验方法2
5.1颗粒物限值2
5.2仪器2
5.3采样点2
5.4测试流程2
5.5合格判据2
5.6材料2
5.7结构设计3
5.8智能控制模块设计3
5.9加工精度3
5.10清洗工艺3
5.11过程检验3
6包装4
7运输4
I
T/CMEEEAXXXX—2025
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由××××提出。
本文件由中国机电设备工程协会归口。
本文件起草单位：
本文件主要起草人：
II
T/CMEEEAXXXX—2025
半导体用智能真空泵颗粒物控制技术要求
1范围
本文件适用于半导体用智能真空泵颗粒物控制的技术要求、试验方法、包装、运输。
本文件适用于半导体芯片制造工艺中，对真空环境颗粒物浓度有严格要求的智能真空泵（包括干式
螺杆泵、罗茨泵、分子泵等），不适用于含腐蚀性气体或放射性物质的特殊工艺场景。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
GB/T9286色漆和清漆划格试验
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
智能真空泵intelligentvacuumpump
具备颗粒物浓度实时监测、自动调节抽速、故障预警及远程诊断功能的真空泵系统。
3.2
颗粒物控制parti
文档评论（0）