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- 2025-12-10 发布于天津
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2025年大学微机电系统工程(微机电基础)单元试卷
(考试时间:90分钟满分100分)班级______姓名______
一、单项选择题(总共10题,每题3分,每题只有一个正确答案,请将正确答案填在括号内)
1.微机电系统中,以下哪种材料常用于微传感器的制作?()
A.硅
B.铜
C.铁
D.铝
2.微机电系统的特征尺寸一般在()。
A.毫米级
B.厘米级
C.微米级
D.纳米级
3.微机电系统中微执行器的作用是()。
A.感知外界信号
B.处理信息
C.执行特定动作
D.存储数据
4.以下哪种微机电加工技术属于光刻技术的范畴
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