《GBT 32653-2016 微机械系统加速度检波器》专题研究报告.pptx

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;目录;;;(二)标准核心章节与逻辑框架梳理;(三)未来五年技术落地对标路径指引;;灵敏度与频率响应特性:性能核心指标解读;(二)线性度与稳定性要求:长期可靠运行的关键保障;(三)功耗与体积限制:微型化应用的核心约束;;机械结构设计核心规范;;敏感元件优先采用单晶硅材料,封装材料需满足耐高低温、抗腐蚀要求,工艺过程需控制芯片键合强度不低于50MPa。材料与工艺的标准化的相关要求,从源头规避了因选材不当或工艺波动导致的性能衰减问题。;;性能参数测试方法规范;;(三)出厂检验与型式检验规则;;;;(三)运

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