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2025 年大学微机电系统工程（MEMS 设计）实操考核卷.docVIP

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  • 2025-12-10 发布于天津
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2025 年大学微机电系统工程（MEMS 设计）实操考核卷.doc

    2025年大学微机电系统工程（MEMS设计）实操考核卷

    （考试时间：90分钟满分100分）班级______姓名______

    一、选择题（总共10题，每题4分，每题只有一个正确答案，请将正确答案填写在括号内）

    1.微机电系统（MEMS）设计中，以下哪种材料常用于制造微传感器的敏感元件？（）

    A.硅B.铜C.铁D.铝

    2.在MEMS器件的制造工艺中，光刻技术主要用于（）。

    A.形成金属电极B.定义微结构的图案C.沉积绝缘层D.蚀刻半导体材料

    3.对于微机电系统中的微加速度计，其工作原理基于（）。

    A.电磁感应

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