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HotWorkingTechnology2014，Vo1．43，No．4

钛系化合物薄膜的制备方法及力学性能研究进展

庄国志1,2，印凤，陈昌佐，章跃，丁红燕

(1．江苏大学材料科学与I-程学院，江苏镇江212013；2．淮阴工学院江苏省介入医疗器械研究重点实验室，江苏

淮安2230031

摘要：对TiN、TiC、TiB：为代表的钛系化合物薄膜的制备方法、力学性能及研究现状做了综述，并对其发展趋势

做了展望。

关键词：钛系化合物；薄膜：力学性能

中图分类号：TG174文献标识码：A文章编号：1001—3814(2014)04—001205

ResearchProcessonPreparationMethodsandMechanicalPropertiesof

ThinFilmsBasedonTiCompound

ZHUANGGuozhi，YINFeng2，CHENChangzuo，ZHANGYue，D1NGHongyan

(1．CollegeofMaterialsScienceandEngineering，JiangsuUniversity，Zhe~iang212013，China；2．JiangsuProvincialKey

LaboratoryforInterventionalMedicalDevices，HuaiyinInstituteofTechnology，Huai’an223003，China)

Abstract：Thepreparationmethods，mechanicalpropertiesandresearchstatusofsuchasTiN，TiCandTiB2Ti—matrix

filmswereoverviewed．Thedevelopingwendofthefilmswasalsoprospected．

Keywords：Ticompound；thinfilm；mechanicalproperty

以TiN、TiC、TiB等为代表的钛系化合物薄膜温度相对较低，适用范围广泛，其制备的薄膜具有致

由于其优良的力学性能、化学稳定性以及良好的附密度高、结合力好、组分多样等优点。按照沉积时

着力等特点引起了研究者的关注l【_2】。当前，有关钛物理机制的差别，物理气相沉积主要分为真空蒸镀、

系化合物薄膜的研究热点主要集中于单层膜的制备溅射镀、离子镀等基本类型。当前，钛系薄膜的制备

及性能测试．但单层薄膜具有结构、成分单一以及内也多数采用物理气相沉积的方法。

应力大等缺陷，薄膜的性能很难进一步得到提高。1．1．1蒸镀法

因此，如何制备致密度高、结合力好以及耐磨损的多蒸镀法是一种应用较早的物理气相沉积方法，

层膜或复合膜成为研究的新方向。本文主要对钛系有膜基结合力较差以及工艺重复性不好的缺点。因

化合物薄膜的制备方法、力学性能以及研究现状做此，目前国内外有关采用蒸镀法制备钛系薄膜的研

了简要概述，并对其发展趋势进行了展望。究较少f5_。杜素梅等6[]采用蒸镀法在金刚石薄膜上制

备了Ti／Ni／Au多层膜。通过富氧预处理方法，金刚

1钛系化合物薄膜及制备方法

石膜和多层金属膜之间获得了很高的结合强度，其

1．1物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，简称结合强度可达47．8MPa。研究发现，C向Ti层中进

PVD)行扩散，并出现了厚约90nm的TiC稳定层，说明富

物