深度解析(2026)《GBT 26250-2025电子气体 砷化氢》.pptxVIP

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;目录;;;;;;基本物理属性:标准界定的关键物理参数及实践意义;;(三)毒性及健康危害:标准安全要求的核心科学依据;;分级核心维度:纯度与关键杂质含量的双重考量;;;;杂质对半导体工艺的致命影响:标准严苛要求的底层逻辑;;(三)纯度检测的溯源体系:标准保障数据准确性的关键环节;;;;;;;;;;;第三代半导体的崛起:砷化氢在GaAs器件中的应用升级;;;;;1;;;需购置气相色谱-质谱联用仪等设备,建立符合标准的检测实验室。组织检测人员参加专业培训,熟悉标准操作流程,确保检测数据准确可靠,满足自验与抽检需求。;;;;;(三)标准升级的路径建议:从跟跑到领跑的战略思考

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