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- 2025-12-10 发布于天津
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2025年大学微电子学(MEMS技术)上学期测试卷
(考试时间:90分钟满分100分)班级______姓名______
一、选择题(总共10题,每题3分,每题只有一个正确答案,请将正确答案填在括号内)
1.MEMS技术主要涉及以下哪个领域的交叉融合?()
A.机械工程与电子工程
B.化学工程与生物工程
C.材料科学与计算机科学
D.光学工程与通信工程
2.以下哪种材料常用于MEMS器件的微结构制造?()
A.硅
B.铜
C.铁
D.金
3.MEMS加速度计的工作原理基于()。
A.电磁感应
B.压阻效应
C.光电效应
D.热
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