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基于铟镓锌锡氧化物薄膜晶体管的制备和性能研究.pdf

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    摘要

    a-IGZO

    作为驱动屏幕显示像素单元的关键组件，以非晶铟镓锌氧（）为代表

    的非晶氧化物半导体薄膜晶体管（AOSTFTs）由于具有大面积制备均匀性高、工

    艺成本低和透光率高等特点，在显示屏幕领域中有着无可替代的优势，成为了当

    前研究的热点。然而，a-IGZO中存在固有的氧空位缺陷，导致其难以同时

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