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量测设备行业市场分析

量测/检测设备行业：长期高回报、空间机会足

量测/检测设备作为晶圆制造工艺全过程的制系统，此类设备不仅

确保产品出货的稳定性和可预期性，同时有助于监生产过程中各类

生产设备（如光刻、刻蚀、沉积等）的参数性能，帮助工程师及时优

化调整，继而提升整条生产线的运行效率。此类设备是保证生产线迅

速进入量产阶段同时确保产品良率的重要工具。鉴于国内大力发展芯

片制造产业，量测/检测设备行业同步迎来了发展窗口期。

回顾KLA46年发展历程，内生外延打造全球龙头

KLA成立于1976年，总部设在美国旧金山，公司主要提供先进的过

程制装备及使用过程解决方案的相关服务，旨在实现客户的生产率

目标，包括良率管理及减少浪费。KLA企业涵盖四大业务部门：半导

体过程制部门、当导体工艺部门、PCB、显示和元件检测部门以及

其他部门。客户主要包含亚洲、美国和欧洲领先的半导体、半导体相

关和电子设备制造商，其产品销往全球约20个国家和地区。截止

2022年6月30日，公司共有约14000名员工，其中近半数从事研

发及服务工作。经过20年多年的发展，目前KLA已经成为全球最具

规模的量测/检测设备生产企业。

纵观KLA的发展历程，并购模式是其主要发展战略。公司在1976

年成立之际便敏锐识别芯片制造的检测需求，当时芯片制造普遍良率

较低，在增加薄膜层数及种类后良率进一步下降，缺陷检测工作急需

展开。KLA的第一个产品是一台掩膜检测设备，该设备实现了机器检

测零的突破，减少检测时长的同时提高覆盖范围，随后公司深耕晶圆

检测设备开发，在稳定现量产工艺后大举展开并购业务。在1997

年公司与Tencor合并，Tencor主要从事薄膜量测设备开发工作，与

KLA一样致力于成品检测领域，由于双方的业务互补优势明显，与其

竞争不如利用并购现共赢，两家业界翘楚的合并有助于进一步完善

KLA-Tencor科（天）前道制程工艺的全覆盖，真正现了1+12的

效果。此后，公司开始了大举收购并进一步掌握丰富的先进技术C根

据KLA官网并购信息梳理，KLA共计完成并购25次，这些并购全部

围绕检测、量测设备、相关零部件以及提供服务的软件展开，公司通

过多次并购进一步巩固其垄断地位。并购战略的施有助于KLA的

业务互补与技术升级，借此机会引入大量科研人才，为加深其研发厚

度打下坚基础。在产品端进一步得到完善后，KLA真正构建了以量

测/检测设备为核心，良率服务为增值业务的完整结构。2019年，KLA

察觉到半导体过程控制装备的业务发展已经接近饱和，便收购了以色

列的光学检测企业Orbotech,促使KLA继续朝着泛半导体业务的多

元化道路继续发展。

目前公司在工艺控制领域的相关业务主要由过程控制部门主导。KLA

的设备可为各类型的芯片提供质量检测，包括logc、DRAM、

3DNAND.MEMS等。设备包括膜厚量测及形貌系统（SpectraFlm

系列、Alers系列、ATL系列等）、图形晶圆缺陷检测系统2（9xx

宽光谱等离子、Puma激光扫描、39xx系列超分辨率宽光谱等离子、

Surfscan系歹j等）、套刻量测系统（Archer750.ATL100等）等，

几乎现前道制程的控制全覆盖。

目前来看，全球量测/检测设备行业以美国、日本发展最为先进，包

括KLA、应用材料、日立等。在各企业的激烈竞争格局下，KLA

52%的市场占比稳居第一，远超其他企业，部分细分领域（晶圆形貌

检测、无图形晶圆检测、有图形晶圆检测领域）甚至可实现垄断c由

此，我们可通过KLA的业绩表现一定程度看出整个量测/检测设备行

业的大致属性。

对比全球半导体设备领先厂商，长期来看KLA在整体股市表现相较

于ASML与AMAT呈现更加稳定增长的态势；从基本面角度出发，

2010年2・