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第52卷第12期红外与激光二程2023年12月

Vol.52No.12InfraredandLaserEngineeringDec.2023

共轴变焦激光诱导击穿光谱定量分析

李欣1-2，吕正一”，崔博伦12，张家铭，刘紫莹，黄苟，赵天卓45*

(1.北京空间机电研究所，北京100094；

2.北京市航空智能遥感装备工程技术研究中心，北京100094；

3.航天东方红卫星有限公司，北京100094；

4.中国科学院大学，北京100049；

5.中国科学院空天信息创新研究院，北京100094)

摘要：在诸如火星探测等极端环境原位检测应用中，共轴变焦距激光诱导击穿光谱技术发挥了重要

作用。为了充分发挥变焦系统的应用效能，距离校正必不可少。现有距离校正方法多为针对单一场景

的经验算法，适用范围有限。因此，提出一种基于等离子体物理的参考脉冲诊断法，无需标定设备响应

即可诊断等离子体温度，进而实现变焦距定量分析。对比了所提出算法与Saha-Boltzmann法的诊断

结果，最大相对误差小于8%。采用13块铝基标准样品进行了变焦距定量实验，9块于2m处建立定

量模型，4块分别于1.5、2、2.4、2.7、3m处进行检测。反演结果中含量超过1%的元素，11号样品中

Si的相对误差最大，为16%，其余大部分小于8%；含量低于1%的元素，大部分相对误差在10%~30%

之间，验证了所提出的方法能够实现变焦距激光诱导击穿光谱定量分析。

变焦距检测；定量分析；参考脉冲诊断法

关键词：激光诱导击穿光谱；变

中图分类号：0433.4文献标志码：AD0I:10.3788/IRL

0引言着陆7。虽然登陆火星的三台设备都设计了变焦

LIBS检测的能力，但实际上并没有完全发挥该优

激光诱导击穿光谱技术（Laser-inducedbreakdown

势。比如，ChemCam虽然设计了2.2~7m工作范围，

spectroscopy,LIBS)通过激光直接烧蚀远距离的待分

在实际采集中，为了准确地定量化元素丰度，选择其

析物，激发形成等离子体并收集其演化过程中产生的

定量分析模型建立位置(3m）附近的2.5~3.5m作为

光谱信息，进而分析物质的元素组成。由于其远距离

主要的采集距离，没有充分发挥其硬件性能[8]。这是

探测、无需样品预处理、近乎全元素分析以及可实现

LIBS原位检测任务中面临的一个普遍问题，即变焦

逐层探测等技术特点，被广泛应用于各种恶劣条件下

的原位检测中，包括熔融合金在线检测、核材料检LIBS定量分析问题

测[2]、水下原位检测[3]以及外星地表探测[4]等。LIBS目前关于变焦LIBS定量化的研究主要来自Los

在这些领域中取得了一系列重要成果，尤其是外星地Alamos国家实验室等机构对于ChemCam数据的分

表探测。2012年，“好奇者号搭载了首台用于火星岩析。一种方法是代理光谱法[8-9],利用遍布火星且成

土成分分析的LIBS设备ChemCam登陆火星开展研分大致相同的火星尘埃光谱作为参考光谱，建立一定

究[5];2021年，“毅力号搭载了升级版的SuperCam，集距离范围内的元素谱线强度比值与距离的关系，将不

成了LIBS、拉曼光谱、反射光