第十章数字式传感器.pptVIP

*当系数a和b满足条件a=2/(Bf0)和b=1/(Bf02)时，由上式可得式中:──压差灵敏度系数，与振筒的材料性质及尺寸有关；r、h、?、E──振筒的内半径、厚度、泊松比、弹性模量。可见，振筒式压力传感器的输入压差与输出频率之间近似成抛物线关系。第29页，共64页，星期日，2025年，2月5日*由上式得到因为?f/f01，相比之下(?f/f0)2可忽略，所以该传感器的输入输出特性可近似成如下线性关系这时，它的非线性误差d为灵敏度k为第30页，共64页，星期日，2025年，2月5日*四、振梁式谐振传感器特性对石英振梁式传感器，当梁受压力p作用而引起梁上的应力发生变化时，其等效刚度发生变化，使振梁的谐振频率f变化。谐振频率f与压力p的关系可表示为(8-17)式中a、b──由振子材料物理特性和结构尺寸决定的常数。可见，振梁式谐振传感器的输入输出特性与图8-5所示的抛物线相同。忽略了高次项(?f/f0)之后，近似得到线性输入输出特性如下这时，它的非线性误差?为(8-19)灵敏度k为(8-20)第31页，共64页，星期日，2025年，2月5日*五、压电式谐振传感器特性图示出压力传感器所用的石英振子的结构原理图。它是采用厚度切变振动模式AT切型石英晶体制成，用一整块石英加工出振子和圆筒，空腔被抽成真空，振子两边有一对电极与外电路连接组成振荡电路。由端盖密封的石英圆筒有效地传递振子周围的压力。压敏石英振子结构原理图第32页，共64页，星期日，2025年，2月5日*石英振子固有谐振频率f0为(8-21)式中?、E66－－石英振子的密度、切变模量。其中，E66对频率的影响起主导作用。当石英振子受静态压力p作用时，则引起振子上应力发生变化而使振子的谐振频率f变化，而频率f的变化与所加压力p呈线性关系，这种静应力－频移效应主要是E66随压力p变化而产生的。第33页，共64页，星期日，2025年，2月5日*六、设计要点谐振式传感器的振子是把被测量的变化转换为频率变化的关键元件，它对传感器的精度、灵敏度和稳定性等有很大影响，因此对它的设计要求较高，主要可从下述几个方面进行考虑。(一)减小非线性由上面特性分析可知，谐振式传感器的特性曲线几乎都是非线性的。选择合适的工作点和最佳工作频段对减小非线性非常重要。为获得较高的测量精度，必须在转换电路中进行非线性校正。对振弦式传感器可采用差动式结构来减小非线性，同时也减小了温度等外界环境的影响，并提高了灵敏度。第34页，共64页，星期日，2025年，2月5日*六、设计要点(二)提高灵敏度根据上面传感器特性分析，可通过适当选择下面振子有关参数来提高灵敏度：密度、弹