钼铌合金靶材轧制工艺研究.docxVIP

《热加工工艺》2019年6月第48卷第11期

钼铌合金靶材轧制工艺研究党晓明1,安耿1,李晶1,路晓涛2,王培华3

(1.金堆城钼业股份有限公司技术中心,陕西西安710077;2.中国铝业郑州有色金属研究院有限公司,河南郑州450041;3.金堆城钼业股份有限公司检测中心,陕西西安710077)

摘要：通过调整轧制工艺研究了不同钼铌合金板烧结坯的密度、氧含量、坯料开轧温度和变形量等因素对其轧制成形的影响。结果表明：钼铌合金的氧含量在0.100%～0.126%时，氧元素不是引起晶界表面能下降的主要因素；烧结坯中大量孔洞、裂纹等缺陷导致轧制中轧板容易出现分层、开裂、起皮甚至断裂。

关键词：钼铌合金；轧制工艺；密度；氧含量DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.2019.11.029

中图分类号：TG335 文献标识码：A 文章编号：1001-3814(2019)11-0117-03

StudyonRollingProcessofMolybdenumNiobiumAlloyTargetMaterialDANGXiaoming1,ANGeng1,LIJing1,LUXiaotao2,WANGPeihua3

(1.TechnicalCenter,JinduichengMolybdenumCo.,Ltd.,Xian710077,China;2.ChinaAluminiumZhengzhouNonferrousMetalsResearchInstituteCo.,Ltd.,Zhengzhou450041,China;3.TestingCenter,JinduichengMolybdenumCo.,Ltd.,Xian710077,China)

Abstract：Theeffectsofthedensity,oxygencontent,blankinitialrollingtemperatureanddeformationofdifferentmolybdenumniobiumalloyslabsontherollingformingwerestudiedbyadjustingtherollingprocess.Theresultsshowthatoxygenelementisnotthemainfactortocausethedecreaseofsurfaceenergyatgrainboundarywhentheoxygencontentofmolybdenumniobiumalloyis0.100%-0.126%.Alargenumberofholesandcracksinsinteredbilletleadtodelamination,cracking,peelingandevenfractureoftherolledplate.

Keywords：molybdenumniobiumalloy;rollingprocess;density;oxygencontent

难熔金属钼具有高导热性、良好的导电性及热稳定性等优点。钼靶材溅射薄膜，主要应用于TFT-LCD屏幕的薄膜晶体管，能够瞬间控制个体图

像点（像素），从而确保显示屏的图像质量[1-2]。但纯

合金靶材无法满足客户要求，在烧结保证氧含量的前提下，钼铌合金靶材需要经过压力加工方能接近理论密度。本文主要研究钼铌合金的轧制工艺及主

要的轧制影响因素进行分析探讨。

钼靶材溅射出的薄膜在耐腐蚀性（变色）和密着性（膜的玻璃）方面存在问题，国外研究中通过在钼靶材中加入铌元素，可使溅射后薄膜的比阻抗、应力、

耐腐蚀性等各种性能达到均衡。因此，钼铌用于极

1 试验

1.1试验原料

采用前期不同的粉末冶金工艺制备了4种单重

耐腐蚀的触摸屏ITO传感器金属接线，表现出优异 为1kg钼(90%)铌合金板坯，主要指标参数见表1。

sinterringslabs的性能。钼铌靶材是一种附加值和技术要求都较高 表1钼铌合金烧结板坯主要参数的钼深加工产品，触摸屏的快速发展使得钼铌靶材Tab.1Mainparametersofmolybd

sinterringslabs

密度/·→1550℃/