2025年半导体光刻胶涂覆均匀性提升方案研究.docx

2025年半导体光刻胶涂覆均匀性提升方案研究

一、项目概述

1.1.项目背景

1.1.1光刻胶涂覆均匀性对芯片性能的影响

1.1.2国内外光刻胶涂覆均匀性技术现状

1.1.3提升光刻胶涂覆均匀性的必要性

1.2.项目目标

1.2.1分析光刻胶涂覆均匀性的影响因素，提出针对性的解决方案

1.2.2研究新型涂覆设备，提高涂覆精度

1.2.3优化涂覆工艺参数，实现光刻胶涂覆均匀性提升

1.2.4开展针对不同类型光刻胶的涂覆工艺研究，提高涂覆效果

1.3.项目内容

1.3.1光刻胶涂覆均匀性影响因素分析

1.3.2新型涂覆设备研究

1.3.3涂覆工艺参数优化

1.3.4针对不同类