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GB/T14144-2009《硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法》(2026年)深度解析;目录;;;;;;;;;;;;(三)易混淆术语的对比辨析与应用案例;;红外吸收法测量隙氧的科学原理详解;;;;;;;;测量点布设的科学规范与间距要求;(二)红外光谱测量的实操步骤与参数设定;;;;;;标准明确的测量结果合格判定依据;半导体级硅片(芯片用)隙氧含量需1.0-1.5×101?atoms/cm3
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