探究Ti-O薄膜制备工艺对其摩擦磨损性能的影响.docx

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2025-12-14 发布于上海
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探究Ti-O薄膜制备工艺对其摩擦磨损性能的影响

一、引言

1.1研究背景

在材料科学的持续发展进程中，薄膜材料凭借其独特且优异的性能，逐渐成为研究的重点领域。其中，Ti-O薄膜，作为一种以钛（Ti）和氧（O）元素为主要构成的薄膜材料，在众多领域展现出了巨大的应用潜力，备受关注。

从化学组成角度来看，Ti-O薄膜并非简单的单一化合物，其成分中钛与氧的比例可在一定范围内变动，从而形成多种不同的钛氧化物，如TiO、TiO?和Ti?O?等。这种成分的可调控性，赋予了Ti-O薄膜丰富多样的物理化学性质。例如，TiO?凭借其稳定的化学性质、良好的光催化活性以及较高的硬度，在光催化、涂料、传感