基于改进二维级联逼近样条滤波光学自由曲面数据处理方法.pdf

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基于改进的二维级联近样条滤波器的光学自由曲面测量数据滤波

,,,*精密测试技术及仪器国家重点,微纳制造

技术,,市300072,通讯邮箱:fzfang@.com

为了实现光学自由曲面的高精度测量,需要进行重复的测量‑补偿过程。滤波是该循环中的关键步骤,用于提取

实际的形状误差并生成补偿路径。尽管样条滤波器是一种有效的方法,但当数

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