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试验技术与方法DOI:10.11973/lhjy-wl240130

扫描电子显微镜用X射线能谱仪在定量分析中的应用

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曹艳芬，曹方方，孔强强，宋鹏，辛玲，李海娥

（1.济宁市质量计量检验检测研究院，济宁272000；2.山东省生态环境监测中心，济南250101）

摘 要：扫描电子显微镜用X射线能谱仪分析是元素定量分析的重要手段。对X射线能谱仪定量

分析的基本工作原理进行简述，并对X射线能谱仪的定量分析方式、提高定量分析结果准确性的方

法，以及定量分析中常见的问题进行了探讨，为进一步提高能谱仪定量分析的准确性提供了一定的

参考。

关键词：X射线能谱仪；元素定量分析；加速电压；计数率；谱峰

中图分类号：TH89；TG115.2文献标志码：A文章编号：1001-4012(2024)09-0015-04

ApplicationofscanningelectronmicroscopyandX-rayenergyspectrometerin

quantitativeanalysis

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CAOYanfen,CAOFangfang,KONGQiangqiang,SONGPeng,XINLing,LIHaie

(1.JiningInstituteofQualityMetrologyInspection,Jining272000,China;

2.ShandongProvincialEco-environmentMonitoringCenter,Ji’nan250101,China)

Abstract:ScanningelectronmicroscopyandX-rayenergyspectrometeranalysiswereimportantmethodsfor

quantitativeanalysisofelements.ThebasicworkingprincipleofquantitativeanalysisofX-rayenergyspectrometerwas

brieflydescribed,anddiscussedthequantitativeanalysismethodsofX-rayenergyspectrometer,methodstoimprovethe

accuracyofquantitativeanalysisresults,andcommonproblemsinquantitativeanalysis.Itprovidedacertainreference

forfurtherimprovingtheaccuracyofquantitativeanalysisofenergyspectrometer.

Keywords:X-rayenergyspectrometer;quantitativeanalysisofelement;accelerationvoltage;countingrate;

spectralpeak

采用扫描电子显微镜（