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2025年半导体绿色制造与可持续发展报告
一、半导体行业绿色制造的背景与驱动因素
1.1全球半导体产业面临的可持续发展压力
1.2绿色制造技术发展现状
1.3我国半导体绿色制造的发展机遇与挑战
二、半导体绿色制造的关键技术与创新实践
2.1能耗控制与水资源循环利用技术
2.1.1半导体制造过程中的能耗控制技术
2.1.2水资源循环利用技术
2.2绿色材料与化学品创新
2.2.1半导体材料的绿色化重构
2.2.2绿色封装材料实现性能与环保的双重突破
2.3工艺优化与智能制造
2.3.1先进制程工艺的绿色化重构
2.3.2智能制造系统构建全流程绿色管控体系
2.4循环经济
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