基于PDMS薄膜的热驱动式微阀的研制.docxVIP

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2025-12-15 发布于上海
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基于PDMS薄膜的热驱动式微阀的研制

一、引言

微流控芯片技术作为一种新兴的技术，在生物医学、化学分析、环境监测等领域具有广泛的应用前景。微阀作为微流控芯片中的关键部件，其性能直接影响着微流控芯片的整体性能。热驱动式微阀由于具有结构简单、响应速度快、易于集成等优点，成为了微阀研究领域的热点之一。聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为一种常用的微流控芯片材料，具有良好的柔韧性、光学透明性、生物相容性和低表面能等特性，非常适合用于制作热驱动式微阀的弹性薄膜。本文基于PDMS薄膜开展热驱动式微阀的研制工作，通过对微阀的工作原理分析、有限元模拟、结构优化设计以及制作工艺研究，实现了一种性能优良的热驱动