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石墨烯赋能：新型波导与可调微纳光器件的前沿探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，光电器件在光通信、传感器、医疗、能源等众多领域发挥着愈发关键的作用。在光通信领域，数据量的爆炸式增长对光信号的传输速度、带宽和集成度提出了更高要求；传感器领域则期望能够开发出高灵敏度、高分辨率且小型化的传感器，以满足生物医学检测、环境监测等多场景应用。传统光电器件在性能提升上逐渐遭遇瓶颈，迫切需要引入新型材料和创新结构来实现突破。

石墨烯，作为一种由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的二维碳纳米材料，自2004年被成功分离以来，凭借其诸多独特性质，在光电器件领域展现出巨大的应用潜力。从力学性能看，石墨烯的杨氏模量高达1TPa，断裂强度达到130GPa，比钢铁强度高数百倍，同时又具备极高的柔韧性，能够在不破裂的情况下进行大幅度的弯曲和变形，这为制造可穿戴、柔性光电器件提供了可能；电学性能上，其载流子迁移率在室温下可达20,000cm2/(V?s)，远高于传统半导体材料，电子能够在其中快速移动且几乎无能量损失，可用于制造高速电子器件；热学性能方面，石墨烯的热导率极高，室温下可达到5,000W/(m?K)，是已知导热性能最好的材料之一，在高功率光电子器件中，能有效解决热量积聚问题；光学性能上，它对光的吸收仅为2.3%，但光学透明度却非常高，还具有宽带光吸收能力，能够在从紫外到远红外的宽光谱范围内有效工作。

在光通信领域，基于石墨烯的新型波导和可调微纳光器件有望大幅提升光信号的传输效率和调制速度。例如，石墨烯与传统波导材料集成，可增强光与物质的相互作用，实现更高效的光信号处理；利用石墨烯的可电调谐特性制作的光调制器，能够快速响应电信号变化，对光信号进行高速调制，满足5G乃至未来6G通信对高速率、大容量数据传输的需求。在传感器领域，石墨烯的高灵敏度和快速响应特性，使其成为生物传感器、气体传感器等的理想材料。其大比表面积能够吸附更多的目标分子，通过检测石墨烯电学性能的变化，可实现对生物分子、有害气体等的高灵敏检测，为生物医学诊断、环境监测等提供更精准、便捷的手段。因此，对基于石墨烯的新型波导和可调微纳光器件的研究，对于推动光通信、传感器等领域的发展具有重要的理论和实际意义，有望带来新一轮的技术革新。

1.2国内外研究现状

在国外，诸多科研团队在石墨烯波导和可调微纳光器件方面取得了显著成果。美国斯坦福大学的研究人员通过化学气相沉积（CVD）法将石墨烯集成到硅基波导上，制备出的石墨烯-硅波导在光调制方面展现出良好性能，实现了高速的光信号调制，调制带宽达到了数GHz。他们还利用石墨烯的可饱和吸收特性，制作了被动锁模光纤激光器，获得了超短脉冲输出，在光通信的光脉冲产生方面具有潜在应用价值。英国剑桥大学的团队开发出一种基于门控石墨烯微波波导的高灵敏度葡萄糖传感器，该传感器将宽带微波传感和化学场效应晶体管（FET）传感功能集成在单个器件之中，利用水溶液中葡萄糖分子与在石墨烯通道中传播的微波频率依赖性相互作用，以及物理吸附分子引起的石墨烯射频（RF）电导率变化的综合效应，实现了对葡萄糖浓度的高灵敏检测，灵敏度达到7.30dB（mg/L）?1。

国内在该领域的研究也不甘落后。北京大学化学与分子工程学院彭海琳教授课题组与北京大学电子学院合作，提出了高响应度石墨烯探测器的设计策略，利用扭转双层石墨烯作为光吸收材料，实现了兼具高响应度和高带宽的硅波导集成扭转双层石墨烯光探测器的制备。通过对扭转角度的设计，使扭转双层石墨烯（tBLG）能带中范霍夫奇点（vHs）的能级差与1550nm通信波段的光子能量相匹配，显著增强了与光的耦合效率。该器件在仅8μm的器件长度下实现最高0.65A/W的高光响应度，多个器件平均光响应度为0.54A/W，3dB带宽可达到65GHz（受限于测量仪器），在50Gbit/s的通断键控调制格式下显示出清晰的眼图信号，功耗低达0.8pJ/bit，展现出在光通信中的巨大应用潜力。电子科技大学的研究团队建立了一种由微纳光纤耦合光倏逝场，并在石墨烯薄膜中传输的模型，通过有限元分析法，研究了光在这种石墨烯波导中传输光场的强度分布和相位特性，并通过实验进行了验证。结果表明，石墨烯材料能有效聚集和导行波导中传输的高阶模，在单位传输长度上具有更密集的等相位面，为基于石墨烯波导的新型光子器件设计提供了理论和实验基础。

然而，现有研究仍存在一些不足之处。在材料制备方面，高质量石墨烯的大规模制备技术尚不成熟，成本较高，像CVD法虽然能制备出高质量的石墨烯，但工艺复杂、设备昂贵，难以满足工业化大规模生产需求；化学氧化还原法虽成本低、操作简便，但会引入较多缺陷和杂质