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2026-2030中国电子束曝光系统（EBL）市场应用领域及竞争力策略剖析研究报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u摘要 3
一、中国电子束曝光系统（EBL）市场发展背景与宏观环境分析 5
1.1全球半导体与微纳制造产业发展趋势对EBL需求的驱动作用 5
1.2中国“十四五”及“十五五”期间高端装备国产化政策对EBL市场的支持 6
二、电子束曝光系统技术原理与核心构成解析 8
2.1EBL系统关键技术模块组成及功能分析 8
2.2主流EBL技术路线对比（高斯束vs.多束vs.矢量扫描） 10
三、2026-2030年中国EB
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