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10.27工程师培训测试测试卷及答案
您的姓名：[填空题]*
_________________________________
一、单项选择题
1.SiC外延炉的核心价值在于其生长的外延层质量直接决定了芯片的（）[单选题]*
A.生产成本与效率
B.外观尺寸与颜色
C.性能（如击穿电压）与良率(正确答案)
D.包装与运输方式
2.以下哪一项不属于SiC外延炉的主要子系统?（）[单选题]*
A.反应腔室
B.光刻系统(正确答案)
C.气体输送系统
D.真空系统
3.维护不佳可能导致“颗粒污染”，这主要是指会导致（）[单选题]*
A.器件缺陷、良率下贱(
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