《GB_T 14602-2014电子工业用气体 氯化氢》专题研究报告.pptx

;目录;;氯化氢纯度核心指标解读：99.999%+纯度要求的行业适配性分析;;（三）水分含量严苛管控：≤10μmol/mol限值背后的器件保护逻辑;核心指标与先进制程的匹配度：当前标准能否满足7nm及以下需求？;;;（二）修订的行业驱动因素：半导体产业升级与国产化替代的双重诉求;;;;杂质限值设定的科学依据：基于器件损伤机理的实验分析;;（三）专家视角：超纯净化核心技术路径与工艺优化策略;杂质控制的质量稳定性保障：全生产周期的管控要点;;;（二）检测过程中的误差来源分析：设备、操作、环境因素的影响;（三）规避测量误差的关键措施：从设备校准到操作规范