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微纳压印关键技术：原理、进展与挑战的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在科技迅猛发展的当下，微纳制造技术作为现代制造业的关键组成部分，在电子信息、生物医药、航空航天等众多领域发挥着举足轻重的作用。随着对微纳器件性能要求的不断提升，传统加工技术逐渐难以满足高精度、高分辨率以及低成本的制造需求，在此背景下，微纳压印技术应运而生。

微纳压印技术是一种新型的微纳加工技术，它突破了传统光刻技术受光衍射极限的限制，能够实现纳米级别的高精度图案复制。其原理类似于印章印刷，通过将具有微纳米结构的模板与涂覆有聚合物材料的基底紧密接触，在一定的压力和温度条件下，使聚合物材料填充模板的微纳米结构，然后经过