2025《微机电系统（MEMS）加速度计发展概述》2200字.docx

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2025-12-19 发布于湖北
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2025《微机电系统（MEMS）加速度计发展概述》2200字.docx

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微机电系统（MEMS）加速度计发展概述

MEMS（MicroElectroMechanicalSystem），是集微型传感器、微型致动器、信号传输单元于一体的微型机械电子系统，是建立在微米/纳米研究技术基础上的跨学科前沿技术，在传感器检测与转换机制中涉及磁能、电能、机械能、光能、热能、辐射能、化学能等多种能量形式，广泛应用于传感器、信息通信、能源采集、航空航天、导航、医疗、物联网等多种行业。MEMS以其微型化、低功耗、低成本、可实现批量化生产、可集成、应用多元化等特点成为研究热点ADDINEN.CITEEndNoteCiteAuthor郑志霞/AuthorYear2012/Yea