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硅钼棒电阻炉温度控制系统的设计邱秀金。等

硅钼棒电阻炉温度控制系统的设计

oftheControlofRodResistanceFurnace

TemperatureSystem

DesignMoSi2

邱隽会饧勇琴差宏伟李武互铁春

(中国工程物理研究院,四川绵阳621900)

摘要:对硅钼棒炉原有温度控制系统进行了研究,研制了一套以智能温度控制器为核心、具有双闭环负反馈的温度控制系统。设

计了主回路过电压和过电流保护电路,并根据加热件材质特性给出了工艺建议。调试结果表明,系统具有操作简单、故障率低和控制

品质好等优点。实践证明,该控制系统具有一定的推广应用价值。

关键词:控制系统智能温度控制器双闭环负反馈PID

中图分类号:TP273文献标志码:A

rodisthecontrolwiththe

Abstract:Thecontrolforsiliconfurnace

temperaturesystemmolybdenumstudied,andtemperaturesystem

existing

over—

controllerasthedualfeedbackisresearchedandand

intelligenttemperaturecore-andpossessesclosed—loopdeveloped.Theover—voltage

currentcircuitsformainaretheofinaccordancewiththematerialof

protectionloopdesigned。andsuggestiontechnologicalprocessproperty

andcontrol

heatedelementisindictesthatthefeaturesfaultrate

systemeasyoperation,lowgoodquMity.Thepractice

given.Commissioning

thatthiscontrolcertainandvalues.

provessystempossessespromotingapplicable

controllerDualfeedbackPID

Keywords:ControlsystemInteUigenttemperatureclosed—loopNegative

0引言

中国工程物理研究院有一条特种陶瓷生产线,主

要从事泡沫陶瓷、熔铸坩埚、氧化锆喷条、陶瓷球等的

kW-

研究与生产工作。该生产线关键设备之一——16

硅钼棒电阻炉(以下简称“硅钼棒炉”)是20世纪70I

年代末从江苏宜兴凤凰电炉有限公司购买的。该炉温

度控制系统由分立元件组成,且使用年限长.导致控制

元件严重老化。该系统存在控制精度低、响应速度慢、

稳定性差和故障率高等缺点,已经无法满足现代精密

陶瓷烧结工艺要求。为此,中国工程物理研究院组织

技术力量为该炉重新设计并制造了一套温度控制

系统。

1系统主回路设计

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