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光刻机运动平台系统的模型辨识范文超,等

光刻机运动平台系统的模型辨识

ModelRecognitionofLithographyMotionStageSystem

范文超陈兴林王斌魏凯

(哈尔滨工业大学航天学院,黑龙江哈尔滨150001)

摘要:针对机械谐振对超精密光刻系统的影响,对包含有机械谐振的光刻机宏微运动平台进行辨识来抑制机械谐振。首先建立单

自由度宏微耦合运动模型和谐振模型,然后基于递阶辨识原理对机械谐振模型进行分段辨识,最后基于谐振模型设计陷波器,抑制机

械谐振。试验结果证明,该方法有效抑制了宏微平台的机械谐振,大幅提高了系统的动态响应性能。

关键词:光刻机宏微耦合模型机械谐振递阶辨识动态响应性能

中图分类号:TP273文献标志码:ADOI:10.16086/j.cnki.issn1000-0380.201505002

Abstract:Inviewoftheinfluenceofthemechanicalresonanceonultra-precisionlithographysystem,themacro-micromotionstagecontaining

mechanicalresonanceisrecognizedforsuppressingthemechanicalresonance.Firstly,thesingledegreeoffreedom(SDOF)macro-micro

couplingmodelandresonancemodelarebuilt,then,basedonhierarchicalrecognitionprinciple,themechanicalmodelisrecognized

segmentally,finally,thenotchfilterisdesignedbasedonresonancemodelforsuppressingthemechanicalresonance.Thetestresultsshowthat

thismethodeffectivelysuppressesthemechanicalresonanceofthemacro-microstage,andgreatlyimprovesthedynamicresponseofthesystem.

Keywords:LithographyMacro-microcouplingmodelMechanicalresonanceHierarchicalrecognitionDynamicresponse

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进行光刻工作。

0引言

平衡质量块由4个气足提供支撑力,使其气浮于

近年来,随着半导体加工领域的发展,超精密运动底座之上,不与双工件台底座接触,这样可以起到减小

控制技术越来越受到重视。光刻机是一种光机电一体摩擦和隔振的作用,大大提高光刻机的精度。

化的超精密制造设备,其中控制系统决定了光刻机的宏动台的两端是直线电机的动子,对于宏动台采

总体性能。在超精密光刻领域,谐振会影响精密运动用双边驱动的策略,其执行机构是永磁直线电机

系统的稳定性。光刻机系统要求的带宽很高,而机械(permanentmagnetlinearmotor,PMLM)。

谐振频率又比较低,导致系统固有机械谐振频