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?一、清洗前的准备工作
1.安全防护??-
穿戴耐高温手套、防护眼镜和防尘口罩,避免接触溶剂(丙酮、酒精)或高温部件。??-关闭设备电源、冷却水及气源,悬挂警示牌防止误启动。
2.设备状态确认??-
检查真空系统密封性(如阀门、法兰密封圈),若泄漏需先更换老化密封圈。??-
排空炉内残留气体,确保压力恢复常压。
3.炉膛检查与预处理??-
清除松散污染物:
用吸尘器或软毛刷清理金属粉尘、残渣,避免堵塞真空管道。??-
识别污染类型:
油污(扩散泵返油)需重点清洁反射板夹层;
金属粉末(锡、铜)需喷淋清洗。
?二、清洗方法选择与应用
热氮气循环法(推荐清除冷区油污)
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