表面化学分析 二次离子质谱 由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子.pdfVIP

《表面化学分析——二次离子质谱——

由离子注入参考物质确定相对灵敏度因

子》

《Surfacechemicalanalysis-Secondary-ionmassspectrometry-

Determinationofrelativesensitivityfactorsfromion-implantedreference

materials》

国家标准编制说明

（征求意见稿）

中国电子科技集团公司第四十六研究所

本标准起草工作组

2025年9月10日

一、修订国家标准的目的和意义

二次离子质谱分析具有高灵敏度和较好的深度分辨本领，是检测高纯材料

中微量杂质浓度的有效手段，准确定量分析对于二次离子质谱技术的应用尤为重

要，二次离子质谱定量分析通常采用相对灵敏度因子法。一种常用的方法是：通

过对已知离子注入剂量的参考样品测试并数据处理获得相对灵敏度因子，进而对

待测样品测试和定量，本标准对此方法进行了规范，对于提高不同测试者的结果

一致性有重要意义。

本标准是对标准GB/T25186-2010（ISO18114:2003）的修订。标准GB/T

25186-2010在国内应用多年，相关技术成熟，取得较高的经济效益和社会效益，

但是随着这项标准相关测试技术应用范围逐步扩大，其中有些内容不适应当前测

试要求，例如对于本底信号的处理等，为此ISO18114:2021已经修订替代ISO

18114:2003，对国标GB/T25186-2010做出相应的修订是必要的。可以进一步推

动二次离子分析技术在微电子、新材料、核物理、地质、天文、生物医药等领域

有广泛的应用，助力我国高新技术产业的快速发展。

全国表面分析标准化技术委员会于2024年提出对GB/T25186-2010（ISO

18114:2003）的修订，已获得批准并列入中国国家标准化管理委员会的2025年

制修订国家标准计划，项目编号T-491。

二、工作简况

（1）任务来源

国家标准化管理委员会下达的2025年国家标准制修订计划项目（项目编号：T-491。表面化学分析——二次离子质谱——由离子注入参考物质确定

相对灵敏度因子）。

TC608

本标准由全国表面分析标准化技术委员会（）提出并归口。

（2）起草单位及起草人

本修订标准主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所是原标准

主要起草单位，有30多年二次离子质谱分析测试经验，是国内最早从事二次离

子质谱分析的单位之一，目前配备二次离子质谱仪4台，其中有1990引进的保

持良好工作状态，也有2024年底引进，是同类型最新型号；曾经完成相关测试

的科研项目多项，起草二次离子质谱分析的相关标准多项，具备完成本申请立项

标准及相关实验验证的能力。

本标准主要起草人包括马农农、何友琴、陈潇、张鑫、王东雪、李展平。

马农农是全国表面分析技术委员会委员，从事二次离子质谱分析工作三十多年,

曾制订多项二次离子质谱分析方面的国家标准，在二次离子质谱分析标准化方面

积累了较丰富的经验，负责本标准修订的全面工作，包括标准的翻译、撰写、修

改等；何友琴、陈潇、张鑫、王东雪、李展平负责标准的翻译、撰写、意见征求、

修改等，随着起草工作的进行，适时增加所需人员。

3

（）主要工作过程

2024年10月本标准起草单位（中国电子科技集团公司第四十六研究所）组

建了本标准起草工作组；起草工作组讨论并形成了制定本标准的工作计划及任务

分工，2025年1月，完成本标准草案并上报立项申请，随后进行修改并形成本

标准工作组讨论稿，起草工作组对本标准工作组讨论稿进行了进一步的讨论和完

善，形成了本标准征求意见稿。拟将征求意见稿发送给相关科研单位的专家，征

求各位专家的意见。

三、标准编制原则和标准主要内容确定依据

本标准编