点衍射干涉仪中小孔尺寸对衍射光强分布的影响研究：理论、仿真与实验验证.docx

点衍射干涉仪中小孔尺寸对衍射光强分布的影响研究：理论、仿真与实验验证

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代科学技术飞速发展的今天，精密测量技术作为支撑众多领域发展的关键基础，其重要性不言而喻。从航空航天领域对零部件高精度加工与检测的严格要求，到生物医学领域对微观结构和生物分子的精准测量，再到半导体制造领域对纳米级尺寸控制的极致追求，精密测量技术的精度和可靠性直接影响着产品质量、性能以及科学研究的进展。点衍射干涉仪作为精密测量领域中的核心设备之一，凭借其独特的测量原理和卓越的性能，在众多高精度测量任务中发挥着不可或缺的作用。

点衍射干涉仪的基本工作原理是利用小孔产生近乎理想的点光源，该点光源