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半导体工艺仿真：湿法刻蚀仿真_（7）.湿法刻蚀仿真实验设计.docx

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    湿法刻蚀仿真实验设计

    实验设计的基本步骤

    在进行湿法刻蚀仿真实验设计时，需要遵循一系列基本步骤来确保实验的准确性和可靠性。这些步骤包括实验目标的明确、模型选择、参数设置、仿真运行和结果分析。以下将详细介绍每个步骤的具体内容和操作方法。

    1.实验目标的明确

    在开始实验设计之前，首先需要明确实验的目标。这包括确定要研究的材料、刻蚀液的种类、刻蚀时间、温度等关键参数，以及希望通过仿真获得的具体结果。例如，研究不同刻蚀液对硅材料的刻蚀速率，或者优化刻蚀工艺以减少边缘粗糙度。

    2.模型选择

    选择合适的模型是湿法刻蚀仿真的关键。常见的模型包括全局模型（Globa

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