金属覆盖层 厚度测量 扫描电镜法编制说明.pdfVIP

ICS25.220.40

CCSA29

中华人民共和国国家标准

GB/TXXXX—XXXX

金属覆盖层厚度测量扫描电镜法

MetalliccoatingsMeasurementofcoatingthickness

——

Scanningelectronmicroscopemethod

(ISO92202022IDT)

：，

（征求意见稿）

20XX-XX-XX发布20XX-XX-XX实施

GB/TXXXX—XXXX

目次

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4原理1

5仪器1

5.1扫描电子显微镜（SEM）1

5.2SEM软件长度测量功能校准工具1

6影响测量结果的因素1

6.1表面粗糙度1

6.2试样横截面的锥度2

6.3试样倾斜2

6.4涂层变形2

6.5涂层边缘的倒角2

6.6电镀试样2

6.7腐蚀2

6.8污点2

6.9差的对比度2

6.10放大倍数3

6.11扫描电子显微镜成像参数3

7制备横截面3

8仪器的校准3

8.1一般原则3

8.2照相3

8.3测量3

9操作程序4

10精度4

10.1一般原则错误！未定义书签。

10.2可重复性,r4

10.3再现性极限,R4

11结果的表达4

12检测报告5

附录A（资料性）横截面制备与测量的通用指南6

附录B（资料性）精确度细节9

参考文献11

I

GB/TXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件代替GB/T31563—2015《金属覆盖层厚度测量扫描电镜法》。

本文件与GB/T31563—2015相比，主要技术变化如下：

——增加了校准方法（见5.2）；

——删除了SEM台置测微标尺（见2015年版的5.2）；

——增加了影响测量不确定度的因素（见6.11）；

——删除了放大倍数的均匀性与稳定性对测量不确定度的影响（见2015年版的6.11、6.12）；

——删除了放大倍数计算（见2015年版的8.4）；

——删除了涂层厚度计算公式（见2015年版的9.3）；

——增加了典型应用的重复性和再现性要求（见第10章）。

本文件等同采用ISO9220：2022《金属覆盖层厚度测量扫描电镜法》。

本文件由中国机械工业联合会提出。

本文件由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会（SAC/TC57）归口。

本文件起草单位：

本文件主要起草人：

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GB/TXXXX—XXXX

金属覆盖层厚度测量扫描电镜法

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