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晶盛单晶炉操作说明

前言

单晶炉作为晶体生长的核心设备，其操作的规范性、精准性直接关系到单晶产品的质量、生产效率及设备安全。本操作说明旨在为最新晶盛单晶炉操作人员提供一套系统、严谨的操作指引。请所有操作人员在独立上岗前务必仔细阅读并充分理解本说明，严格按照规程操作，确保生产过程安全、稳定、高效。

一、操作前准备与检查

在启动单晶炉进行任何操作之前，全面的准备与细致的检查是确保后续流程顺利进行的基础。

1.人员准备

*操作人员必须经过专业培训，熟悉本设备的结构原理、操作流程及安全注意事项。

*精神状态良好，无妨碍安全操作的因素。

*穿戴好符合规定的个人防护用品，如耐高温手套、防护眼镜、防尘服等。

2.设备检查

*电源系统：检查主电源、控制系统电源是否正常，接地是否牢固可靠。

*真空系统：检查真空泵组（机械泵、罗茨泵等）是否处于良好备用状态，真空管路连接是否紧密，阀门是否完好。

*水冷系统：检查进出水管道连接是否通畅，无泄漏；冷却水压力、流量、温度是否在规定范围内；各冷却点（炉体、坩埚轴、籽晶轴、加热器等）冷却是否正常。

*加热系统：检查加热元件（如石墨加热器）是否完好，连接是否紧固；测温元件（如热电偶）安装是否到位，线路是否正常。

*传动系统：检查籽晶升降旋转机构、坩埚升降旋转机构运行是否平稳，有无异响或卡滞现象，限位装置是否可靠。

*炉体与炉膛：检查炉门密封是否良好，观察窗是否清洁完好；炉膛内部（如保温罩、坩埚、坩埚托等）是否清洁，有无异物或损坏。

*气体系统：检查惰性气体（如氩气）气源压力是否充足，气路连接是否严密，流量计、压力阀是否工作正常。

*控制系统：检查计算机、触摸屏、PLC等控制单元是否启动正常，软件系统是否运行稳定，各参数显示是否准确。

3.物料准备

*根据生产计划，准备合格的多晶硅原料，确保其纯度、粒度符合工艺要求。

*准备好符合规格的籽晶、坩埚（石英坩埚、石墨坩埚）、坩埚托、保温材料等。

*所有物料在装入炉内前需确保清洁，避免引入杂质。

二、开炉与系统启动

完成上述检查并确认无误后，方可进行开炉及系统启动操作。

1.确认炉门处于关闭锁紧状态，各安全联锁装置正常。

2.启动总电源，按照设备说明书要求的顺序依次启动控制系统、水冷系统、真空系统（先开机械泵，达到一定真空度后再根据需要开启罗茨泵等）。

3.真空度检测：启动真空系统后，对炉膛进行抽真空，观察真空度上升情况，确保能达到工艺要求的初始真空度，并检查系统的leakrate（泄漏率）是否在允许范围内。

4.惰性气体置换（如工艺要求）：当达到规定真空度后，可通入适量惰性气体进行置换，以进一步排除炉内残余空气或有害气体。置换次数及气体流量根据具体工艺确定。

5.启动加热系统电源，但暂不设定加热功率。

三、工艺参数设置与确认

在进行装料及后续熔料之前，需根据所生长晶体的规格型号及工艺要求，在控制系统中准确设置各项工艺参数。

1.温度曲线参数：包括各阶段（熔料、引晶、放肩、转肩、等径、收尾）的目标温度、升温速率、保温时间等。

2.真空/气氛参数：设置各阶段的真空度或惰性气体流量、压力。

3.籽晶与坩埚运动参数：设置籽晶和坩埚的转速、升降速率等。

4.其他参数：如冷却水流速、压力报警阈值等。

5.参数确认：所有参数设置完成后，务必仔细核对，确保准确无误。建议双人复核，或与工艺文件进行比对。

四、装料与熔料阶段操作

装料与熔料是晶体生长的初始关键步骤，操作不当易导致原料浪费或影响后续生长。

1.装料

*确认系统安全：确保加热系统未启动，炉膛已冷却（如需热装料则需特殊操作并注意安全防护），真空系统已关闭或处于安全状态。

*打开炉门，按照规定的装料量和装料方式，将清洁的多晶硅原料均匀放入石英坩埚内。注意避免原料碰撞坩埚壁，防止坩埚损坏或原料污染。

*放置好坩埚托、保温罩等炉膛组件，确保安装到位、平稳。

*关闭并锁紧炉门，确保密封良好。

2.熔料

*再次确认真空/气氛系统：根据工艺要求，启动真空系统抽真空至规定值，或通入惰性气体至规定压力。

*启动加热系统，按照设定的熔料温度曲线开始升温。

*监控熔料过程：密切关注炉膛内温度变化、真空度/气氛压力、原料熔化情况。通过观察窗或监控画面，观察原料从固态到液态的转变过程，注意是否有喷料、搭桥等异常现象。

*熔料完成：当原料完全熔化，熔体液面平稳后，保持在熔料温度或按照工艺要求调整至引晶预备温度，进行适当保温，使熔体温度均匀。

五、引晶、放肩、转肩、等径、收尾阶段操作

这是单晶生长的核心阶段，需要操作人员具备高度的责任心和丰富的经验，