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AZ31镁合金基底上两种镀膜工艺制备氮化锆薄膜的性能及工艺优化探究

一、绪论

1.1研究背景与意义

镁合金作为目前实际应用中密度最小的金属结构材料，具有一系列卓越的性能优势，其密度通常在1.7-1.85g/cm3之间，约为钢铁的1/4，铝合金的2/3，这一特性使得镁合金在对重量有严格要求的领域，如航空航天、汽车制造等，展现出极大的应用潜力。从比强度和比刚度来看，镁合金表现出色，能够在保证结构强度的同时减轻整体重量，对于提高结构件的承载效率至关重要。其良好的电磁屏蔽性，使其成为电子设备外壳及内部结构件的理想材料，有效防止电子设备受到外界电磁干扰，确保设备稳定运行。出色的导热性也使得镁合金在热管理领域发挥重要作用，例如可用于制造散热器，快速传导热量，保证设备在高温环境下的正常工作。此外，镁合金还具备良好的切削加工性，易于加工成各种复杂形状的零部件，提高生产效率，降低加工成本；其生物相容性良好的特点，在生物医学领域，如可降解医用植入材料方面展现出广阔的应用前景，为医疗技术的发展提供了新的材料选择。

然而，镁合金的发展和广泛应用受到一些固有缺点的限制。其中，耐腐蚀性能差是最为突出的问题之一。镁的标准电极电位为-2.37V，具有较高的电负性，这使得镁合金在自然环境中极易发生腐蚀。在潮湿的大气环境中，镁合金表面会依次发生解离水的吸附、疏松MgO的形成以及MgO结晶层的覆盖。水在MgO(111)上的化学吸附有利于发生质子分解，形成OH-和H+，导致MgO被羟基化生成Mg(OH)?。MgO在水中的溶解度高于Mg(OH)?，在潮湿的大气环境中MgO转化为Mg(OH)?，Mg(OH)?的沉淀降低了MgO层的厚度，使基体表面膜层变得不致密，从而加剧了基体的腐蚀。在酸性、碱性和中性的潮湿大气环境中，镁合金的最终腐蚀产物主要为Mg(OH)?和MgO，环境的pH值对其腐蚀速率影响显著。当pH小于7时，H+会与镁合金表面的Mg(OH)?发生反应，使基体直接与腐蚀介质接触，加速腐蚀过程。镁合金的硬度较低，在实际应用中，尤其是在需要承受摩擦、磨损或机械载荷的场景下，容易出现表面损伤、变形等问题，影响其使用寿命和性能稳定性。例如在汽车发动机的零部件应用中，较低的硬度可能导致零件在长期的高速运转和摩擦过程中过早失效。

为了克服镁合金的这些缺点，充分发挥其性能优势，表面改性技术成为关键手段。通过在镁合金表面制备防护薄膜，可以在不改变镁合金基体固有优良性能的前提下，显著提高其耐腐蚀性和力学性能。氮化锆（ZrN）薄膜因其独特的性能，成为镁合金表面防护的理想选择。ZrN薄膜具有出色的抗腐蚀能力，能够有效阻挡外界腐蚀介质与镁合金基体的接触，减缓腐蚀速率。其高硬度特性可以显著提高镁合金表面的耐磨性能，增强其在摩擦环境下的耐久性。ZrN薄膜还具有耐高温、化学稳定性好等优点，使其在高温、恶劣化学环境等特殊工况下，也能为镁合金提供可靠的保护。

在众多制备ZrN薄膜的方法中，真空电弧离子镀和中频磁控溅射是两种重要的物理气相沉积技术，各有其独特的优势和适用场景。真空电弧离子镀利用真空环境中电弧放电产生的高温等离子体，使镀料蒸发并离子化，然后在基体表面沉积形成薄膜。该方法具有沉积速率高的特点，能够在较短时间内获得一定厚度的薄膜，提高生产效率，适用于对薄膜厚度要求较高的应用场景。它所制备的薄膜与基体之间的结合力较强，这是因为离子化的镀料在沉积过程中能够与基体表面发生原子级的相互作用，形成牢固的化学键合，确保薄膜在使用过程中不易脱落，提高了防护的可靠性。

中频磁控溅射则是在磁场和电场的共同作用下，使氩气离子化并轰击靶材，将靶材原子溅射出来，在基体表面沉积成膜。这种方法制备的薄膜表面质量高，具有良好的均匀性和致密性，表面粗糙度低，能够为镁合金提供更加光滑、平整的防护层，有效提升镁合金的外观质量和耐腐蚀性。由于其成膜过程较为温和，对基体的热影响较小，适用于对热敏感的镁合金材料，避免了因高温导致的基体性能变化。研究这两种方法在AZ31镁合金表面制备ZrN薄膜的工艺及性能，对于优化镁合金表面防护技术，拓展镁合金的应用领域具有重要的理论和实际意义。通过深入探究不同制备工艺参数对ZrN薄膜性能的影响，可以找到最佳的制备工艺条件，实现ZrN薄膜性能的优化，为镁合金在航空航天、汽车、电子等领域的广泛应用提供有力的技术支持。

1.2国内外研究现状

在镁合金表面处理方面，国内外学者进行了大量的研究工作。化学氧化是一种常用的表面处理方法，其基本原理是金属浸入转化液中，与转化液发生一系列化学-电化学反应，将一些难溶（化学性质稳定）化合物沉积在金属表面而形成氧化膜。ZAI等研究