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集成电路测试简介

集成电路产业链2

集成电路晶圆测试3

所谓集成电路晶圆测试是指晶圆测试工厂基于晶圆测试设备（包括

测试机、探针台Prober），通过制作探针卡，对集成电路设计人员

所提供的产品测试要求和规范编写相应的测试程序，对集成电路晶

圆上的每一个管芯进行功能和性能方面的检测，通过对输出响应和

预期进行比较，以判断是否合格。

集成电路晶圆测试4

图1.2（a）集成电路晶圆测试设备图1.2（b）为晶圆及晶圆上一颗放大的管芯。

集成电路成品测试5

所谓集成电路成品测试是指成品测试工厂基于成品测试设备（包括

测试机、分选机Hander等），对集成电路设计人员所提供的产品测

试要求和规范编写相应的测试程序，重点是针对集成电路晶圆测试

中无法测试的内容，对集成电路成品进行功能和性能方面的检测，

通过对输出响应和预期进行比较，以判断是否合格。

集成电路成品测试6

图1.3（a）集成电路成品测试车间图1.3（b）分选机

集成电路测试相关企业7

（1）专业从事集成电路晶圆、成品测试的企业；其接受其他公司委

托，为其开发测试程序，并利用其测试设备开展集成电路晶圆测试、

成品测试业务；如江苏求是缘科技有限公司等；

（2）集成电路设计公司中的测试部门；如无锡华润矽科微电子有限

公司，除了设计研发部门外，还有一个测试部门，为本公司产品开

发测试程序，并进行晶圆和成品测试；

（3）大型封装企业承担测试业务；如江阴长电、南通富士通等大型

封装企业，也承担晶圆测试、成品电路测试业务。

谢谢大家！

集成电路测试原理和应用

集成电路测试原理10

测试系统

测试输入待测电路测试输出

（测试码）（DUT）（测试响应）

图1.4集成电路测试原理

测试系统组成11

（1）测试仪：主要用来给待测电路施加输入，并采样输出。

（2）测试界面：主要根据DUT的封装形式、最高时钟频率、

测试仪的资源配置和界面板卡形式等合理地选择测试插座，

并设计制作测试负载板。

（3）测试程序：主要包括控制测试仪的指令序列，其中需

要考虑待测电路的类型、物理特征、工艺、功能参数、环

境特性、可靠性等。

集成电路测试的应用12

集成电路测试是验证设计、控制工艺、管理生产、保证质量、分

析失效以及指导应用等的重要手段；集成电路测试应用在集成电路开发、

生产和应用的全过程。

晶圆测试13

根据晶圆测试结果，集成电路设计人员能够进行设计评估；集

成电路工艺人员可以进行工艺的调整等；集成电路生产运行管理人员可

以制定生产计划等等。

探针台

ProbeProbeCard针卡

成品测试