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第４３卷第１期低温与特气Ｖｏｌ４３ꎬＮｏ１

２０２５年２月ＬｏｗＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅａｎｄＳｐｅｃｉａｌｔｙＧａｓｅｓＦｅｂꎬ２０２５

应用技术

拉曼光谱在特气分析中的应用

孙杰ꎬ李福芬ꎬ曲庆∗

(大连大特气体有限公司ꎬ辽宁大连１１６０２１)

摘要:介绍了拉曼光谱在氟化工、工艺参数优化、硅烷及氯代硅烷检测行业的应用ꎬ并与其它光谱进行技术比对ꎮ

关键词:拉曼光谱ꎻ氟化工ꎻ工艺参数优化ꎻ硅烷及氯代硅烷

中图分类号:Ｏ６５９文献标志码:Ａ文章编号:１００７￣７８０４(２０２５)０１￣００５２￣０３

ｄｏｉ:１０３９６９/ｊｉｓｓｎ１００７￣７８０４２０２５０１０１１

ＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆＲａｍａｎＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙｉｎＳｐｅｃｉａｌＧａｓＡｎａｌｙｓｉｓ

ＳＵＮＪｉｅꎬＬＩＦｕｆｅｎꎬＱＵＱｉｎｇ∗

(ＤａｌｉａｎＳｐｅｃｉａｌＧａｓＩｎｄｕｓｔｒｙＣｏｍｐａｎｙꎬＤａｌｉａｎ１１６０２１ꎬＣｈｉｎａ)

Ａｂｓｔｒａｃｔ:ＴｈｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆＲａｍａｎｓｐｅｃｔｒｕｍｉｎｆｌｕｏｒｉｎｅｃｈｅｍｉｃａｌｉｎｄｕｓｔｒｙꎬｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｏｆｐｒｏｃｅｓｓｐａｒａｍｅｔｅｒｓꎬｄｅｔｅｃｔｉｏｎ

ｏｆｓｉｌａｎｅａｎｄｃｈｌｏｒｏｓｉｌａｎｅｉｓｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄꎬａｎｄｃｏｍｐａｒｅｓｉｔｗｉｔｈｏｔｈｅｒｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｉｃｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ.

Ｋｅｙｗｏｒｄｓ:Ｒａｍａｎｓｐｅｃｔｒｕｍꎻｆｌｕｏｒｉｎｅｃｈｅｍｉｃａｌｉｎｄｕｓｔｒｙꎻｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｏｆｐｒｏｃｅｓｓｐａｒａｍｅｔｅｒｓꎻｓｉｌａｎｅａｎｄｃｈｌｏｒｏｓｉｌａｎｅ

１前言和瑞利散射能级图ꎮ

在特气分析中常用的光谱分析方法有傅里叶红

外光谱(ＦＴＩＲ)、激光诱导荧光(ＬＩＦ)、光腔衰荡光谱

(ＣＲＤＳ)ꎮ拉曼光谱在特气分析中的应用非常少ꎬ

拉曼光谱法的优势在于它的灵活性和适用性ꎬ可以

在各种环境下使用ꎬ其中包括高温、高压或腐蚀性气

体的检测ꎮ能够实现无损、无污染和高精度的检测ꎬ

尤其适用于那些不吸收红外光或者不易用红外光谱

法检测的物质ꎮ

２原理

拉曼光谱基于光的拉曼散射效应ꎬ当频率为图１拉曼散射和瑞利散射能级图

(ω)的单色辐射照射到物质上时ꎬ大部分入射辐射Ｆｉｇ.１ＲａｍａｎｓｃａｔｔｅｒｉｎｇａｎｄＲａｙｌｅｉｇｈｓｃａｔｔｅｒｉｎｇｅｎｅｒｇｙ

透过物质或被物质吸收ꎬ只有一小部分辐射被样品ｌｅｖｅｌｄｉａｇｒａｍｓ

分子散射ꎮ入射的光子和物质分子相碰撞时ꎬ可发而在非弹性碰撞过程中ꎬ光子与分子之间发

生弹性碰撞和非弹性碰撞ꎬ在弹性碰撞过程中ꎬ光子生能量交换ꎬ光子不仅要改变运动方向ꎬ还放出一

与分子之间不发生能量交换ꎬ光子只改变运动方向部分能量(ω)给予分子ꎬ或从分子吸收一部分能ｖ

而不改变频率(ω)ꎬ这种散射过程叫弹性散射ꎬ亦称量(ω)ꎬ从而改变光子的频率ꎮ由非弹性散射引ｖ

为瑞利散射(Ｒａｙｌｅｉｇｈｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ)ꎮ图１为拉曼散射起含有其他频率的散射光的现象称为拉曼效应ꎬ

收稿日期:２０２４￣０８￣２６

第１期孙杰ꎬ等:拉曼光谱在特气分析中的应用５３

这种散射过程称为拉曼散射(Ｒ